摘要:
一、项目背景:半导体晶圆清洗生产线的通讯困境 在工业自动化领域的半导体晶圆清洗生产线中,企业采用基恩士 KV8000 PLC(Modbus RTU 协议)负责晶圆传送定位(±0.01mm 精度)、机械手抓取控制,搭配松下 FP7 PLC(Modbus TCP 协议)管控药液浓度、清洗温度、超声功率等 阅读全文
一、项目背景:半导体晶圆清洗生产线的通讯困境 在工业自动化领域的半导体晶圆清洗生产线中,企业采用基恩士 KV8000 PLC(Modbus RTU 协议)负责晶圆传送定位(±0.01mm 精度)、机械手抓取控制,搭配松下 FP7 PLC(Modbus TCP 协议)管控药液浓度、清洗温度、超声功率等 阅读全文
posted @ 2025-11-26 17:09
塔讯技术
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