芯片ATE测试综述（上）

一、ATE基础认知

1、定义：ATE（Automatic Test Equipment）即自动测试设备，是由高性能计算机控制的测试仪器集合体，由测试仪 + 计算机组成，通过计算机运行测试程序控制测试硬件。

2、核心要求：可快速、可靠输出重复一致的测试结果，具备速度、可靠性、稳定性，设备需定期校准以保证信号源和测量单元精度。

3、核心价值：提升芯片测试效率，保障产品质量、降低生产成本、缩短研发周期，是半导体制造行业核心设备。

4、应用环节：贯穿集成电路全产业链，包括芯片设计验证、晶圆制造相关测试、封装后成品测试。

5、测试逻辑：输入测试程序，通过ATE测试系统对被测器件（DUT）完成测试，最终输出测试结果。

二、ATE机台内部核心资源

ATE机台包含四类板卡，其中数字板卡、电源板卡为使用最多的资源，各类板卡功能如下：

1、电源板卡：为待测芯片（DUT）供电；可做PowerShort、漏电流测试；大功耗芯片测试中对测试质量/良率至关重要；支持模块化供电，冗余电源模块可降低供电压力。

2、数字板卡：实现芯片数字电路测试，含DC参数测试、基于DFT的功能测试；数字I/O通道可抓取功能测试向量的详细失效位置。

3、模拟板卡：实现芯片模拟电路测试，完成模拟参数测试（如上升时间、延迟时间、电压过冲等）。

4、支持板卡：含电源转换、内部校准电路；为其他板卡供电，支持其实现内部校准功能。

三、ATE机台主要分类

按测试芯片类型分为四大类，各类型适配芯片及代表机台明确，具体如下：