摘要:
一、技术背景 AI 芯片、高带宽存储驱动下,3D 堆叠 + 混合键合成为先进封装核心技术。 原理:两颗芯片铜焊盘、介质层面对面键合,垂直互连,互连路径最短、带宽最高。 痛点:键合界面微小缺陷即可造成整颗芯片直接报废。 二、主要失效模式、成因与危害 (一)对准偏移(Misalignment) 1、成因 阅读全文
posted @ 2026-09-28 16:52
半导体软硬件技术手记
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一、核心定义 光刻拉偏(FEM,Focus-Exposure Matrix)是光刻工艺中通过系统性微调曝光参数,寻找电路图案最清晰、尺寸最精确的 “完美焦点” 的关键环节,本质是工艺窗口的探索实验。 光刻工艺可在硅片上绘制比头发丝细千倍的电路图案,拉偏实验则是该过程的重要 “调色” 步骤。 二、拉偏 阅读全文