摘要:
Spec 不是一个抽象概念,它对应着具体的物理量测指标。以下是几个最常见的: ●THK (Thickness / 膜厚) ○含义: 沉积在晶圆上的薄膜厚度。这是 PVD, CVD, ALD 工艺最核心的 Spec。 ○示例: 一个工艺可能要求 Target = 100nm。 ●THKU (Thick 阅读全文
posted @ 2025-11-17 16:38
yizhiwei
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2025年11月17日