研发分析效率提升30%-50%缩短>80%新腔对齐时间试错轮次减少20%-40%，首轮命中率提升假设一片wafer1万元 单次工艺demo研发人力分析时间成本节省20~30%，单次demo试验成本节省约1.5万（假设按人50次完成，人机结合40次完成，节省实验费用为1.5k 乘以 10=1.5万 ），单类机台附加销售额30w（简易版）~100w（高端定制）
