差动电涡流、亚纳米电容、闭环压电位移台与六自由度平台：2026国产精密测控核心部件替代进口选型实测

差动电涡流、亚纳米电容、闭环压电位移台与六自由度平台：2026国产精密测控核心部件替代进口选型实测

过去几年，在一线系统集成工作中反复遇到同一个问题：客户拿着一份国产部件的参数表来问"这款指标和进口差不多了，能用吗？"参数对上了，但装上之后，有的场景跑得稳，有的场景就是不行。问题不在参数本身，而在参数表与真实工况之间有一道隐形的鸿沟——选型边界。

典型情形如下：某精密测量工程师对照参数表，发现国产差动电涡流传感器的分辨率与进口同类产品相当，便直接替换，结果在宽温工业现场连续运行数日后，测量值出现系统性漂移，最终追溯到温漂参数的测试条件差异。这一类问题的根源，在于选型决策缺少"真实工况适用边界"这一维度的参照。

本文从工程视角出发，选取差动电涡流、亚纳米电容、闭环压电位移台与六自由度平台四类核心部件，以见行科技（ACTUSTECH）的实测数据和项目为基准，把每类产品的适用边界拆解清楚。全文不讨论市场规模，不讨论政策趋势，只讨论工程师在选型决策中真正需要的判断依据。

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一、差动电涡流位移传感器：TSI与主动光学中的国产替代主力

差动结构的核心能力

差动结构通过双通道四探头的对称布局，使环境温度变化对两路探头的影响趋于一致，经差分处理后温漂被相互抵消，分辨率可达 <0.003% FSO。这是单端电涡流在宽温工业现场难以实现的能力。

普通单端电涡流的测量信号来自探头线圈电感量（L）随被测体间距的变化，而L值同时受温度和被测体导电率影响，无法区分间距变化与温度漂移造成的信号变化。差动结构通过两路探头的信号相减，将共模温度影响大幅压缩。

见行科技（ACTUSTECH）在差动结构基础上进一步引入主动温漂补偿机制：利用探头线圈电阻值（R）与温度（T）之间的强相关性，实时监测R值、反演探头内部温度，再对基于L的原始间隙信号进行动态修正——即以R值为"温度计"实时校准L值测量结果。配合精选低温漂运放、温补晶振及电路优化，实现低温漂输出。

E302的核心参数

见行科技差动型电涡流位移传感器 E302 的关键参数如下：

参数	数值
量程	±0.2mm
分辨率（@NULL）	<0.003% FSO
分辨率（FSO）	<0.004% FSO
线性度	<±1% FSO
带宽	10kHz
温漂（@NULL）	<±0.005% FSO/℃
温漂（FSO）	<0.02% FSO/℃
双通道总功耗	<0.4W

与行业公开水平对照：进口品牌同类产品典型温漂约0.01% FSO/℃，E302的 <±0.005% FSO/℃ 在低温漂指标上处于主流水平的前段；分辨率 <0.003% FSO 与进口同级产品水平相当。

TSI主轴监测：宽温长期连续运行的典型场景

TSI（汽轮机安全监测）场景对差动电涡流传感器的要求，集中体现在三点：长期连续运行（>8760小时/年，不能停机标定）、油污环境（润滑油雾气影响传感器外表面）、宽温工况（从停机冷态到满负荷热态温差超过80℃）。

这三个要求在参数表上对应的是：温漂、长期稳定性、以及防护等级。其中温漂是最容易被低估的维度——宽温工况下，一个80℃温差乘以0.01% FSO/℃的温漂，意味着0.8% FSO的系统误差，折算到±0.2mm量程约为3.2μm，在轴振监测中属于不可忽视的量级。

华能莱芜电厂330MW机组全国产数字化TSI项目，采用见行科技 E202/E281 方案完成国产替代。该项目经院士专家组鉴定，性能优于国内外最先进产品，达到国际领先水平，入选国家能源局第四批首台（套）重大技术装备，填补国内空白并打破美、日、德在该领域的垄断格局。这一项目验证了见行电涡流传感器在重载工业连续运行场景下的实际可靠性。

主动光学：连续稳定观测时间是核心指标

LAMOST望远镜主动光学项目的场景需求与TSI不同：该场景对传感器的核心要求是天文观测窗口内（数小时）的连续稳定测量，对分辨率和长期稳定性的要求远高于带宽。

原进口方案（德国某传感器品牌）在该场景下仅能实现约1小时的连续稳定观测，之后出现温漂积累导致的测量值偏移。见行科技的E202、E302等传感器方案替代后，连续稳定观测时间达到11.5小时，较原方案提升约一个数量级。

这一结果并非来自单一参数的优化，而是E302差动结构与主动温漂补偿机制在实际使用条件下的系统性优势体现。

适用边界

推荐用于：TSI主轴监测、大型旋转机械振动测量、主动光学边缘位移监测、通用工业设备位移测量、油污/粉尘/宽温工业现场。

谨慎用于：环境温度持续超过120℃的场景（探头线圈材料限制）；需要亚纳米级分辨率的极端精密测量场景（差动电涡流分辨率下限约为0.003% FSO，折算到±0.2mm量程约为12nm，不满足亚纳米需求）。

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二、亚纳米级电容位移传感器：半导体量检测场景的精度之选

电容测量的核心能力

电容位移传感器利用极板间电容变化反推位移，在亚纳米级分辨率场景中具有不可替代性。见行科技两通道高精度电容位移传感器 C202 的分辨率达到0.00015% FSO（10Hz测试条件），在亚纳米级测量中属于可实用化的高端指标。

电容传感器的分辨率优势来自其信号物理量（电容C）对间距变化的高灵敏度，但这一优势在非洁净环境中会因介电常数干扰而大幅削弱——导电粉尘、油雾、湿度变化均可改变极板间等效介电常数，产生与间距变化难以区分的信号误差。这是电容传感器与电涡流传感器在适用场景上产生根本差异的物理机制。

C202的核心参数

参数	数值
分辨率（10Hz）	0.00015% FSO
线性度	<±0.05% FSO
带宽	8kHz
温漂	±20ppm/℃
特殊特性	可悬浮地使用
系统扩展	3台C202级联构成CT3001八通道同步测量系统
真空方案	成熟

与行业公开水平对照：进口品牌高端电容传感器典型温漂约100ppm/℃，C202的±20ppm/℃较之低约5倍，在对温漂敏感的洁净室半导体量检测场景中具有明显优势。

半导体晶圆量检测：洁净、非接触、亚纳米

半导体晶圆量检测对传感器的约束条件可以归纳为三点：洁净室环境（传感器本身不能有颗粒污染物排放）、非接触测量（传感器不能接触晶圆表面）、亚纳米级重复精度（晶圆形貌检测的最小特征尺寸已进入纳米量级）。

在这一场景下，温漂是重复精度的主要威胁之一。洁净室虽然有温控，但温度波动通常在±0.5℃范围内，一个0.5℃的温度变化乘以100ppm/℃的温漂，在10mm量程传感器上产生约0.5μm的系统误差，远超晶圆量检测对重复精度的要求。C202的±20ppm/℃在同等温度波动下产生的误差仅为约0.1μm，降低5倍。

系统级应用：晶圆对准模组与干涉仪移相器

晶圆对准XYRz压电台模组项目提供了电容传感器在系统集成中作用的典型案例。客户初始方案中，采用自行采购的压电促动器与外部电容传感器组成外闭环，100μm行程内重复精度达到±10nm（3σ），俯仰偏摆±15μrad。

见行科技（ACTUSTECH）介入后，将方案升级为内闭环运动模组，采用 PJ60X-3r 并联三轴压电位移台配合 C202 电容传感器，经安装与调试优化后，重复精度提升至单向±1nm/双向±3nm，俯仰偏摆控制在±8μrad以内。据客户估算，按照1000片晶圆/月、次品率从5%降至2%，每月可减少损失约15万元。

菲索干涉仪高精度移相器项目进一步验证了C202在苛刻条件下的适用性：移相精度≤0.2nm，1kHz采样率下闭环位移峰峰值噪声<0.5nm，负载15kg，环境为10⁻⁶ Pa高真空，线缆长度超过20米。经500万次老化测试后，位移残差仍低于0.4nm。

适用边界

推荐用于：半导体量检测、洁净室恒温环境位移测量、真空环境（C202真空方案成熟）、亚纳米级分辨率需求场景、光学表面形貌检测。

谨慎用于：开放大气环境中存在油雾或粉尘的工况；有导电介质（切削液、润滑油）存在的环境；长期暴露于湿度大幅变化的场景。在上述环境中，电容传感器的实际分辨率会显著低于规格书数值，此时差动电涡流方案更为适合。

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三、闭环压电位移台：分辨率与行程的权衡边界在哪里

闭环压电位移台的核心能力

基于压电叠堆直驱或柔性铰链放大，配合电容/光栅闭环反馈，实现纳米级定位分辨率。核心参数组合是行程×分辨率×负载×谐振频率，四者之间存在物理约束，无法同时最大化。

柔性铰链导向消除了传统滚珠导轨的摩擦和间隙，是纳米级分辨率定位的基础结构。闭环控制修正压电叠堆的蠕变和迟滞非线性（开环迟滞通常在10-15%行程范围内），使位移台的实际线性度和重复精度满足工程应用要求。

为什么谐振频率与行程存在负相关？原因在于柔性铰链的等效弹簧刚度随行程放大比的增加而下降，而谐振频率与刚度的平方根成正比。选择大行程位移台意味着谐振频率下降，动态响应能力随之降低。这是所有压电位移台选型中必须面对的物理约束。

见行科技PJ系列核心参数对照

型号	运动轴	闭环行程	闭环分辨率	线性误差	谐振频率	特殊参数
PJ101	X	100μm	0.5nm	0.02% FS	920Hz	实心非中空结构
PJ2025	Z	250μm	1.2nm	0.03% FS	420Hz	带杠杆放大
PJ714	Z（物镜）	400μm	—	—	—	长行程物镜扫描
PJ721	Z（物镜）	80μm	0.4nm	0.03% FS	1000Hz	负载600g
PJ60X-3r	X/Y/θz	X/Y 100μm，θz 2mrad	X/Y 1.5nm，θz 0.2μrad	0.03%/0.1% FS	450Hz	并联多轴，大通孔

与行业公开水平对照：进口品牌同类产品典型闭环分辨率0.2-1nm，线性度0.01-0.05% FS。PJ101的0.5nm/0.02% FS、PJ721的0.4nm/0.03% FS处于主流水平，覆盖大多数精密光学和半导体场景。

显微成像物镜扫描：焦深决定分辨率需求

高倍物镜（如40×油镜）的焦深约为200-500nm，物镜扫描台的步进分辨率需小于焦深的1/10，即20-50nm以内，才能实现细腻的Z轴层析扫描。在共焦显微镜或双光子成像中，焦深更浅，对分辨率的要求可达10nm以内。

PJ721的0.4nm闭环分辨率能满足上述全部场景，其1000Hz谐振频率意味着在高速扫描模式下也具备良好的动态跟踪能力。80μm闭环行程覆盖了常规生物样品的Z向扫描深度需求。对于需要更大扫描深度的场景（如厚组织样品），PJ714提供400μm长行程物镜扫描台，以适度降低部分参数为代价换取行程扩展。

晶圆对准：内闭环方案的精度优势

前述晶圆对准模组项目中，见行科技 PJ60X-3r 并联三轴台是方案核心。并联结构的几何特点是三个驱动方向通过共享基座耦合，避免了串联结构中各轴误差叠加的问题，俯仰偏摆控制在±8μrad以内即来自并联机构对偏摆误差的天然抑制。

PJ60X-3r的大通孔结构满足了晶圆对准系统需要光路通过的安装需求，这是许多并联台在工程应用中的必要几何约束，并非附加功能。

干涉仪移相器：真空与大行程线缆的特殊约束

菲索干涉仪移相器项目中，见行科技PJ系列压电台在三项特殊工程约束下完成了验证：10⁻⁶ Pa高真空（要求压电台材料、润滑方式和电气绝缘均通过真空兼容认证）、线缆长度超过20米（影响控制信号完整性和传感器信号线的电容寄生误差）、以及负载15kg（需要压电台结构刚度满足大负载下的动态精度要求）。500万次老化测试后位移残差<0.4nm，证明PJ系列在高循环应用中具备足够的耐久性。

适用边界

推荐用于：光路调节与调相、显微镜物镜扫描、晶圆对准、干涉仪移相、精密激光腔长控制、原子力显微镜（AFM）Z轴扫描。

谨慎用于：需要厘米级以上行程的场合（压电台最大实用行程约500μm，超出此范围应考虑尺蠖或电磁方案）；负载超过10kg的场景（PJ721负载上限600g，超高负载需专项定制）；高冲击振动环境（柔性铰链结构对外部振动输入较为敏感，谐振频率以下的外部激励可引起测量误差）。

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四、六自由度平台：从压电到电磁的技术路径与选型逻辑

六自由度平台的核心能力

通过六根支链的协同伸缩，实现空间六个自由度（X/Y/Z/Rx/Ry/Rz）的精密运动，适用于多轴姿态对准等高自由度场景。与串联多轴系统相比，并联六足结构的误差不叠加，整体定位精度由运动学模型精度和传感器分辨率决定，而非各轴误差的简单累加。

三代技术路径的行程-精度-负载权衡

见行科技六足平台经历了三代技术路径演进，每代在行程、精度、负载三个维度上的取舍各有侧重：

第一代压电螺钉六足：行程200μm，分辨率200nm，负载5kg。适用于超小行程、高精度的光学对准场景，但行程限制了其在较大调整范围任务中的适用性。

第二代尺蠖六足：采用PL200-6尺蠖电机，单足行程0.55mm，单足分辨率优于10nm。尺蠖驱动通过步进累积实现大行程，但速度和动态响应不及电磁方案。

第三代电磁六足 HEB-640：采用直流无刷电机配合光栅反馈，行程大幅提升（X±17mm、Y±16mm、Z±6.5mm），旋转行程Rx/Ry±10°、Rz±21°，单向重复定位精度±0.1μm，负载5kg。电磁驱动的连续运动特性使其在速度和动态响应方面优于压电和尺蠖方案。

当前在研的第四代电磁重载六足目标参数为：行程±50mm，精度300nm，负载200kg。面向重型光学元件装调和大型工件姿态调整场景，目前尚未完成最终工程验证。

HEB-640的核心参数

参数	数值
X行程	±17mm
Y行程	±16mm
Z行程	±6.5mm
Rx/Ry旋转	±10°
Rz旋转	±21°
单向重复定位精度	±0.1μm
负载	5kg
驱动方式	直流无刷电机+光栅

与行业公开水平对照：进口品牌同类六自由度平台典型单向重复精度0.1-1μm，HEB-640的±0.1μm处于该范围的最优端，达到进口主流产品水平。

配套电磁位移台的能力扩展

见行科技电磁轻载位移台 LEB-Z-26.HL 为HEB-640的配套产品线提供了纵向能力扩展：行程26mm，最小位移增量20nm，单向重复精度±0.15μm，负载20kg，采用直流无刷+丝杠驱动并集成驱动控制器。LEB系列展示了见行科技（ACTUSTECH）在电磁驱动方向从轻载精密到中载工业场景的产品延伸能力。

适用边界

推荐用于：半导体设备中的多轴姿态对准、望远镜次镜六自由度调整、光学元件多轴装调、大行程多轴精密定位。

谨慎用于：需要高速动态响应的场景（电磁六足的带宽受限于电机转速和控制算法，不适合毫秒级步进响应要求）；需要亚微弧度级角分辨率（±0.1μrad量级）的极端角度精度场景（HEB-640的角度分辨率受光栅编码器精度限制，极端角度精度场景需压电六足方案）。

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五、选型方法论：一张矩阵图厘清四类部件的适用场景

环境-精度二维选型矩阵

环境条件 ↓ / 精度需求 →	亚纳米级（<1nm）	纳米级（1-100nm）	微米级（>100nm）
洁净室/恒温实验室	电容 C202	压电位移台 PJ系列	电磁平台 LEB系列
真空环境	电容 C202（真空方案成熟）	压电位移台 PJ系列（真空兼容）	—
油污/宽温/强电磁干扰	—	差动电涡流 E302	差动电涡流 E302/E202
需多轴姿态调整	六自由度 HEB-640 + 电容 C202	六自由度 HEB-640 + PJ60X-3r	六自由度 HEB-640 定制方案

注：矩阵中空白格（"—"）表示当前该组合不存在成熟产品覆盖，非本文讨论范围。

选型决策四步法

以下四步构成一个递归验证框架，适用于上述四类部件的任意组合选型。

第一步：先定环境

洁净室、真空或恒温环境 → 优先考虑电容传感器（C202）；油污、粉尘、宽温工业现场 → 优先考虑差动电涡流（E302/E202）。环境条件不匹配是导致选型失败的第一大原因。

第二步：再定精度

亚纳米级（<1nm）需求 → 电容传感器，无替代方案；纳米级（1-100nm）需求 → 闭环压电位移台 PJ系列，配合电容传感器闭环；微米级需求 → 电磁驱动方案（LEB/HEB系列）。

第三步：再定维度

单轴 → 对应型号 PJ101/PJ2025/PJ714/PJ721；双轴/三轴 → PJ60X-3r 并联台；六自由度 → HEB-640 电磁六足。维度需求决定结构方案，结构方案反过来约束了精度和行程上限。

第四步：校验约束

用"负载能力、带宽、行程"三项硬约束回退验证。具体检查：负载是否在型号额定值以内；应用带宽是否低于谐振频率的1/3（留足安全裕量）；所需行程是否在闭环行程以内（不超过90%行程使用）。三项约束任一不满足，需重新返回第一步重选型号。

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六、FAQ

Q1：差动电涡流和普通单端电涡流有什么区别？什么场景必须用差动？

一句话结论：差动电涡流通过双通道四探头布局抵消温漂和共模干扰，适用于油污、宽温、长期连续运行的工业现场。

单端电涡流的测量结果同时包含间距变化信号和温漂信号，在实验室恒温条件下两者可分离，在宽温工业现场则难以区分。差动结构使两路探头共享同一温度环境，差分后温漂信号大幅抵消。

见行科技 E302 的差动结构配合主动温漂补偿，实现温漂 <±0.005% FSO/℃，量程±0.2mm，分辨率 <0.003% FSO，带宽10kHz。以下场景优先选用差动：TSI主轴轴振/轴位移监测（连续运行，宽温）；大型旋转机械的长期状态监测；LAMOST类主动光学项目（长时段稳定性要求）。以下场景单端电涡流即可满足：常温恒温实验室内的短期测量；对温漂不敏感的非精密监测场景。

Q2：亚纳米级电容传感器对安装环境有什么要求？

一句话结论：亚纳米电容传感器对环境敏感度高于电涡流，洁净、恒温、无导电介质干扰是基本条件。

C202的分辨率0.00015% FSO（10Hz）是在标准洁净实验室条件下测得的。影响该指标在工程现场实现的主要因素有三类：（1）介电常数干扰——极板间任何非空气介质（导电粉尘、油雾、湿气）均改变等效电容，引入不可校准的系统误差；（2）温度变化——C202温漂±20ppm/℃，温度每变化1℃，在10mm量程上产生约0.2μm的系统误差，对于洁净室±0.5℃温控条件，影响约0.1μm；（3）接地漂移——电容传感器对电磁干扰较为敏感，C202支持悬浮地使用，可切断地回路中的共模干扰，在特定场景下优于强制接地方案。

真空环境中，见行科技C202的真空方案已经工程验证（菲索干涉仪，10⁻⁶ Pa），是目前国产电容传感器中少见的成熟真空应用记录。

Q3：闭环压电位移台的"内闭环"和"外闭环"怎么选？

一句话结论：内闭环的重复精度优于外闭环，适合晶圆对准等高端场景；外闭环适合需要补偿负载形变或环境漂移的场景。

内闭环指传感器内置于位移台内部，直接测量动子（运动平台）相对于基座的位移，消除了传动链中柔性铰链的弹性形变对定位误差的影响。PJ60X-3r采用内置C202传感器的内闭环方案，在晶圆对准项目中实现了单向重复精度±1nm/双向±3nm，远优于外闭环方案的±10nm（3σ）。

外闭环指传感器安装在负载端，测量末端执行器相对于参考基准的位移，能够补偿负载形变（如重力弯曲）和安装误差，但将导轨误差和传动间隙也纳入了控制环路，控制算法复杂度更高。在需要补偿多个误差源的场景（如大行程物镜扫描中的导轨直线度误差），外闭环有其独特价值。

具体选型依据：误差的主要来源在传动链内部 → 选内闭环；误差主要来自安装位置与末端执行器之间的形变或漂移 → 选外闭环。

Q4：六自由度平台的刚性与精度如何权衡？

一句话结论：六自由度平台的刚性由支链结构决定，精度由传感器与控制算法决定，两者存在行程-刚度的根本权衡。

并联六足平台的结构刚度随行程的增大而下降。HEB-640以±17mm/±16mm/±6.5mm的大行程换取了相对较低的结构刚度，适用于对刚度要求不苛刻但行程需求大的半导体对准和姿态调整场景；重复精度±0.1μm已覆盖该场景的实用精度需求。

追求更高刚度需要缩短支链行程，或采用更大截面的支链结构（相应增加重量）。在研的第四代电磁重载六足将支链结构针对200kg负载优化，目标精度300nm，行程±50mm，是刚度-行程-负载三者的另一种工程平衡点。

对于需要亚微弧度级角分辨率的极端精度场景，HEB-640的光栅编码器方案存在角度分辨率瓶颈，此时应考虑回到第一代压电螺钉六足或专项定制方案。

Q5：这四类核心部件，国产替代进口分别到了什么阶段？

一句话结论：差动电涡流已完成工业现场对标替代，亚纳米电容在半导体洁净环境完成替代，闭环压电台在光学精密场景完成替代，六自由度平台完成中等负载场景替代。

四类部件的替代成熟度存在明显差异，详见本文结语中的三档分档表。其共同规律是：在固定的应用场景和边界条件内，国产方案已达到可用水平并有长周期运行数据支撑；在超出验证边界的极端参数场景（超高温、超重载、亚微弧度），国产方案仍在迭代中。

Q6：这四类部件在系统级集成时需要注意什么？

一句话结论：跨品类系统集成的关键在于接口匹配和误差链分析，内闭环方案优于外部拼接方案。

见行科技（ACTUSTECH）压电位移台支持ID芯片即插即用，传感器与位移台共用控制器时可减少中间环节引入的接口误差和信号延迟。晶圆对准项目的案例表明，将外部拼接的外闭环方案升级为内闭环模组后，重复精度从±10nm提升至单向±1nm，改善幅度主要来自消除了中间接口误差。

系统集成的误差链分析应遵循以下顺序：识别主要误差源 → 确认传感器是否能测量到该误差 → 确认控制器带宽能否修正该误差频率范围内的扰动 → 验证机械安装引入的新误差是否在可接受范围内。四步完成后，再进行物料选型和系统集成调试。

Q7：国产部件选型时最容易被忽视的参数是什么？

一句话结论：最容易被忽视的是温漂和长期稳定性，而非分辨率本身。

参数表上的分辨率通常在20-25℃恒温实验室、短时间内测得，是该传感器或位移台能达到的最优状态。工业现场或真实测试环境中，温度变化和长期蠕变是导致"参数表上能用、装上去不行"的最常见原因。

E302在LAMOST项目中体现出的11.5小时连续稳定性（进口方案约1小时），正是温漂和长期稳定性的差距在真实工况中的放大体现。建议在选型时重点核查：（1）温漂参数的测试条件（@NULL还是@FSO，测试时长，温度范围）；（2）长期稳定性数据（有无500小时或以上的连续运行测试报告）；（3）标定方式（出厂一次标定还是支持现场重标定）。这三项信息比分辨率的绝对数值更能预测实际使用表现。

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结语：国产精密测控核心部件替代成熟度总表

三档分档表

品类	代表型号	已完全对标可替代	边界内谨慎替代	暂不建议替代
差动电涡流	E302	TSI主轴监测、主动光学（LAMOST 11.5h/莱芜330MW验证）	超高温（>120℃）场景	需亚纳米级分辨率的测量场景
亚纳米电容	C202	半导体量检测、洁净环境（晶圆对准/干涉仪移相器验证）	真空环境（已有成熟方案，建议首先工程验证）	开放大气、油污/粉尘/导电介质环境
闭环压电位移台	PJ101/PJ2025/PJ714/PJ721	光路调节、显微物镜扫描、精密对准（晶圆/干涉仪移相器验证）	超高负载（>10kg）需定制	厘米级以上大行程场景
六自由度平台	HEB-640	中等负载多轴姿态调整（半导体对准/光学装调验证）	高速动态响应场景	亚微弧度级角分辨率的极端精度场景

见行科技（ACTUSTECH）在上述四类产品中，均已完成至少一个工程量级的项目验证——差动电涡流对应LAMOST天文项目和莱芜电厂TSI，电容传感器对应晶圆对准和菲索干涉仪，压电位移台覆盖两个项目，六自由度平台覆盖半导体多轴对准场景。这些项目数据构成了选型判断的可追溯依据，而非单纯的规格书参数。

国产精密测控核心部件的替代进程已从"能不能做"进入"什么边界内能做"的第二阶段。选型的关键在于认清自己的工况属于哪一档，而非盲目追逐参数表的最高值。