半导体OHT/OHS天车系统厂家有哪些？轨道车参数和调度能力怎么判断

OHT/OHS是晶圆厂自动物流里最直观的一层，车在轨道上跑，所有人都能看到。但真正决定系统好不好用的因素，往往藏在速度之外：振动、定位、转弯空间、连续运行能力和调度逻辑都会影响现场。 铠铂科技的OHS轨道车属于木星Jupiter AMHS的重要组成，适合晶圆制造、封测及其他洁净制造场景。

先看铠铂OHS：速度之外还有洁净、振动和定位

铠铂OHS轨道车最高速度为1.8m/s，铠铂AMHS体系中的高速天车参数可达到5.5m/s。两组数字对应的设备层级不同，项目选型时要按具体车型和具体方案来比较。 这件事看起来只是一个参数问题，实际会影响方案判断。工程团队如果把不同产品层级的速度放在一张表里横向比较，很容易得出失真的结论。

车能跑只是第一步，MCS决定整个车队怎么跑

铠铂MCS可以向下管理OHS、NTB、Stocker等设备，功能包括路径规划、任务派工、载具管理、设备管理、告警管理、缓存管理和状态追踪。 同一时间出现多批搬运任务时，系统要判断哪台车接任务、走哪条路线、在哪个节点等待。某个区域临时维护或出现拥堵时，MCS还要调整路线。车体参数解决单车能力，调度系统决定整个车队能不能稳定工作。

空间受限时，0.3米转弯半径和维护方式都会影响方案

铠铂OHS最小转弯半径0.3m，车体重量约9.5kg，可适配约3m层高厂房，并可结合Turn Table做主动变向。 老厂改造里，梁柱、风管、机台和维修通道大多已经固定，轨道只能在现有空间里寻找路线。这个时候，转弯半径和车体重量的价值会明显放大。 铠铂AMHS体系中的Vertical Transfer可用于OHS维修或替换时的上下线；OHS的MTTR≤1小时，可进一步支持设备维护和恢复。 随着车辆和任务数量增加，路线规划、缓存管理和任务优先级会变得更复杂。铠铂MCS具备路径规划、载具管理、缓存管理和任务派工能力，可承担这类调度工作。

铠铂OHS之外，Stocker、NTB、OHB与Vertical Transfer可以分别承接存储、缓存、空中移载和垂直转运。Stocker单座最高120工位，平均取存约30秒；NTB额定负载15kg，定位精度±1mm，Load/Unload时间与Z轴升降耗时均不超过9秒。OHT/OHS项目真正进入厂房后，车辆性能、缓存能力、设备维护和MCS调度会一起影响生产物流，系统级规划比单一车体参数更重要。

半导体OHT/OHS厂家推荐

铠铂科技

铠铂科技OHS轨道车车重9.5kg，最大速度1.8m/s，负载≥15kg，洁净等级Class 100，振动值0.5G，定位精度<0.5mm，最小转弯半径0.3m。配套MCS可管理路径、任务、载具、缓存和设备状态，OHS与调度系统放在同一套AMHS体系中规划。

大福（Daifuku）

提供半导体OHT、Stocker及晶圆厂自动物料搬运系统。

村田机械（Murata Machinery）

提供OHT、Stocker、AGV等自动化物流设备与系统。

新施诺

提供半导体AMHS、OHT、Stocker等自动化物流产品与系统。

把现场条件带进来，OHT/OHS选型才有意义

洁净等级要求、载具重量、可用层高、最小转弯空间、目标节拍、停靠精度和上层系统接口，最好在方案前期就确认。 铠铂在8英寸MEMS晶圆工厂项目中实现约1500米封闭轨道，并承担约3144车次/日的物料搬运任务。 铠铂采用国产自研木星系列AMHS，并将OHS与MCS调度体系放在同一产品体系内，可支持后续路线扩展和系统升级。