SECS/GEM 配方管理S7Fx

配方是什么？

SECS/GEM工艺程序是在设备控制下的一组指令、设置和参数中预先规划和可重复使用的部分，这些指令、设置或参数确定了制造对象所看到的加工环境，并且可能在运行或加工周期之间发生变化。

配方管理是什么?

配方管理允许工厂对设备的配方进行SECS/GEM上传、下载、删除、修改等管理。

什么是配方序列号？

一种过程程序，以命令代码的有序序列及其相关参数表示，如S7、F23和S7、F26所示。在支持格式化的过程程序的情况下，设备还必须提供足够的信息，以允许主机上的用户创建、显示、修改和部分验证其内容（例如，S7、F22中提供的信息）。

为什么需要这个特性?

几乎所有的半导体工厂都需要这个特性来确保配方的完整性并支持可追溯性。主机将设备上已批准的配方上传并保存下来供以后使用，以确保配方不会被更改。为了可跟踪性，配方通常与工艺数据一起保存。

验证是对过程程序进行语法检查。验证只能确保过程程序的结构正确。它不能确保程序具有正确的参数来运行特定的过程或产品（请参阅过程程序验证）。支持未格式化过程程序的设备应提供可变DVVAL PPError，当验证过程程序的尝试失败时，该错误向用户提供有关错误的信息。

配方管理是如何工作的?

通过SECS/GEM的S7Fx协议进行交互

 

COMMENTS HOST EQUIPMENT COMMENTS

Delete Process Program Send S7,F17-->
<--S7,F18 Delete Process Program Acknowledge.
The process program is removed from nonvolatile storage.

 

识别

每个配方都由一个名为process program ID或PPID的ASCII名称标识。

  

 

    

 

 

 

 

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