半导体SECS/GEM介绍，最全资料和解读

SECS/GEM是半导体通讯协议标准。

SEMI的通信标准SECS/GEM自发布以来已经存在了近30年，GEM300作为半导体制造自动化规范的基础已经存在了20多年。这些标准对半导体生产线仍然有效，应应用于其自动化。

1、通讯

SECS/GEM SEMI连接性规范界说了主机和设备开始树立通讯的方法，而且还界说了当通讯中断时重新树立通讯的方法。而且，终端服务答应操作员和主机在操控台上进行信息交互。

2、控制

SECS/GEM SEMI连接性规范归纳了主机与设备操作员之间的合作等级的操控状况模型。

依据设备供给的主机操控等级，设备操作员能够远程发起发动、停止、中断等指令，用以操控设备的作业进程。自动化办理使得设备之间能够愈加灵敏地协同作业，优化生产流程，进步生产效率。

3、数据收集与报警

数据搜集和警报功用使主机能监控设备的运作情况；设备搜集事件功用会将重要的正常活动和反常活动告诉主机；报警办理功用使主机能够办理设备上发生的警报状况并取得相应告诉；设备一起具备自界说事件功用，主机能够监控具体的客户定制设备活动。

4、配方管理

配方管理功用使主机能够经过同设备的接口来办理加工程序和配方，能够对加工程序进行创建、修正和删去，所以运用此功用需要格外慎重。

 

什么是事件（event）？

名称“收集事件”中的两个词是描述性的。

正如“事件”一词所表示的那样，收集事件是一种通知。其目的是在设备发生感兴趣的事件时通知主机。“主机”是连接到设备GEM接口的工厂客户端软件。例如，收集事件可以报告材料何时到达、耗材不足、发生硬件问题、相机检查材料、材料已准备好移除、腔室达到目标真空压力、加工完成等。设备可以使用收集事件功能在发生任何感兴趣的事件时进行报告。谁创建了 GEM 接口，谁就准确地决定了哪些收集事件可供主机使用;因此，可用收集事件集因设备类型而异。

如“集合”一词所示，集合事件还能够将数据与集合事件消息一起发布。它是一种非常有效的数据收集形式，在信息可用时异步提供信息。例如，报告材料到达时间的收集事件也可能报告到达材料的条形码和位置。GEM界面中有三种类型的数据;有关收集事件（称为数据变量）、状态信息（称为状态变量）和设备设置（称为设备常量）的信息。无论谁创建 GEM 接口，谁都确切地决定了每个收集事件将提供哪些信息。因此，收集事件的可用信息集因设备类型而异。只有当主机设置了报告时，才会发送可用数据。

相关S6F11、S6F12、S6F13、S6F14、S1F23、S2F33、S2F35、S2F37

 

 

有哪些地方可以查阅和获取到SECS-GEM资料？

www.semi.com

www.secsgem.cn

 

什么是假脱机？

即使是最强大的计算机网络也会遇到通信故障。无论原因如何，小规模中断都可能导致大量关键任务数据丢失。GEM 通过提供消息后台处理功能来调解这种数据丢失。

假脱机的好处

自动化工厂是数据驱动的。提取和分析数据以做出影响工程和管理团队反应的决策，以确保产品产量高且废品率低。

这些数据的差距可能导致错误的判断甚至猜测。假脱机是一种备份系统，可确保保留和恢复此数据，从而降低丢失宝贵数据的风险。

相关S2F43、S2F44

为什么需要这个功能?

简单地说，收集事件允许您实时跟踪设备在做什么。如果一家工厂想要进行某种程度的智能制造，或者只是想提高生产率，那么首先需要的是能够跟踪设备在做什么。收集事件提供了这一点。您可以跟踪设备利用率、材料移动、处理里程碑、活动周期计数，以便进行预测性维护、消耗品使用，以及与发布的收集事件相关的任何其他内容。这些信息的应用是无止境的。

有时，收集事件还用于实现以下场景:设备在继续或获得继续的许可之前需要来自主机的信息。当设备准备好接受主机指令或权限时，可以通过收集事件通知主机。

GEM COMPLIANCE STATEMENT
FUNDAMENTAL GEM REQUIREMENTS	MPLEMENTED	GEM-COMPLIANT
State Models	■Yes   □No	■Yes   □No
Equipment Processing States	■Yes   □No
Host Initiated S1F13/F14 Scenario	■Yes   □No
Event Notification	■Yes   □No
On-Line Identification	■Yes   □No
Error Messages	■Yes   □No	■Yes   □No
Documentation	■Yes   □No
Control (Operator Initiated)	■Yes   □No
ADDITIONAL CAPABILITIES	IMPLEMENTED	GEM-COMPLIANT
Establish Communications	■Yes   □No	■Yes   □No
Dynamic Event Report Configuration	■Yes   □No	■Yes   □No
Data Variable and Collection Event Namelist Requests	■Yes   □No	■Yes   □No
Variable Data Collection	■Yes   □No	■Yes   □No
Trace Data Collection	■Yes   □No	■Yes   □No
Status Data Collection	■Yes   □No	■Yes   □No
Alarm Management	■Yes   □No	■Yes   □No
Remote Control	■Yes   □No	■Yes   □No
Equipment Constants	■Yes   □No	■Yes   □No
Process Program Management	■Yes   □No	■Yes   □No
Material Movement	■Yes   □No	■Yes   □No
Equipment Terminal Services	■Yes   □No	■Yes   □No
Clock	■Yes   □No	■Yes   □No
Limits Monitoring	■Yes   □No	■Yes   □No
Spooling	□Yes   ■No	□Yes   ■No
Control (Equipment-Initiated)	■Yes   □No	■Yes   □No