摘要： 1.SECS介绍 SEMI(国际半导体协会）为了方便工厂系统与设备沟通而建立的一种通信标准 SECS 是半导体设备通信标准的首字母缩略词。GEM 是指 SEMI E30 标准，它使用 SEMI E5标准中定义的消息类型的子集来描述设备行为和通信的通用模型。SECS/GEM 接口的部署通常会使用 SE 阅读全文