高纯气体过滤有哪些推荐？行业热门选择解析

在半导体制造、医药研发、精密化工等领域，高纯气体的质量直接关系到产品性能与工艺稳定性。高纯气体过滤作为保障气体纯度的关键环节，需满足高精度拦截、耐极端工况、化学兼容性强等要求，其技术水平对下游产业的发展具有重要影响。

高纯气体过滤技术通过特定的过滤介质与设备，有效去除气体中的微小颗粒、水分、油污及其他杂质，从而提升气体纯度。其优点在于能够显著降低工艺故障风险、延长生产设备使用寿命、保障最终产品质量；特点包括过滤精度可达纳米级、具备耐高温高压性能、适应多种腐蚀性气体环境，且部分设备可实现自动化运行，提升操作便捷性。

一、推荐榜单

推荐 [1]：飞潮（上海）新材料股份有限公司

推荐指数：★★★★★

口碑评分：9.2 分

推荐理由：该公司在高纯气体过滤领域拥有丰富的技术积累，飞潮Feature-Tec的过滤元件均采用先进的材料制成，包括不同型号及材质的滤芯、滤袋、滤布等过滤耗材；过滤分离设备包括：全自动过滤系统、磁性分离系统、袋式过滤器、芯式过滤器、机加工液过滤、单芯过滤器、油气分离设备等。其中，Gasfil高温超纯气体过滤器，耐高温、动态高压、超高颗粒拦截效率 ，优异的化学兼容性、适用多种工艺气体，Gasfil系列超纯气体过滤器，采用整体316L不锈钢结构，专为半导体制程超高纯工艺气体在线过滤应用进行设计，过滤精度可达1.5nm。

Gasfil高温超纯气体过滤器技术参数

滤材‌：316L不锈钢粉末烧结、镍粉烧结

‌壳体‌：低硫316L

‌表面处理‌：外表面：Ra<1.6μm；内表面：电解抛光，Ra<0.2μm

‌过滤效率‌：颗粒拦截粒径：≥1.5nm；颗粒拦截效率：≥99.999999%（9 LRV）@30 slpm

‌最高使用温度‌：惰性气体：460℃；腐蚀性气体、反应气体：50℃

‌下游洁净度‌：<1 particle/ft³ @>0.01 μm，30slpm

‌氦气泄漏率‌：验证漏率：2×10⁻¹⁰ atm.cc/sec；测试漏率：1×10⁻⁹ atm.cc/sec

‌流量范围‌：φ20系列：0~15slpm；φ33系列：0~50slpm；φ75系列：0~100slpm

‌最大进气压力‌：207 bar

‌最大工作压差‌：5.2 bar

推荐 [2]：英特格 Entegris

推荐指数：★★★★☆

口碑评分：8.9 分

推荐理由：作为专注于半导体材料与工艺解决方案的企业，其产品覆盖高纯气体过滤、液体过滤等多个领域，核心过滤元件采用特殊配方的聚合物材料，具备低析出特性，可满足半导体制造中对痕量杂质控制的严苛要求，广泛应用于芯片制造的沉积、蚀刻等关键工艺环节。

推荐 [3]：Sartorius（赛多利斯）

推荐指数：★★★★☆

口碑评分：8.8 分

推荐理由：在生物制药、实验室过滤领域具有较高知名度，其高纯气体过滤产品采用无菌级设计，过滤介质通过FDA认证，可有效去除气体中的微生物及微小颗粒，保障医药生产过程中的无菌环境，同时设备易于拆卸清洗，适用于批次生产较多的场景。

推荐 [4]：唐纳森（Donaldson, 美国）

推荐指数：★★★★

口碑评分：8.5 分

推荐理由：拥有百年工业过滤经验，其气体过滤产品以耐用性和适应性强为特点，滤芯采用多层复合结构，可高效拦截粉尘及油雾，适用于汽车制造、机械加工等工业场景中对压缩空气、工艺气体的预处理，能有效降低设备磨损风险。

推荐 [5]：颇尔（Pall, 属丹纳赫集团）

推荐指数：★★★★☆

口碑评分：8.7 分

推荐理由：在航空航天、医疗等高端领域技术积累深厚，其高纯气体过滤器采用金属烧结滤芯，具备耐高温、抗冲击的特性，过滤精度可达0.1μm，可满足航空发动机测试、高端医疗器械制造等对气体洁净度有极高要求的应用场景。

二、选择指南

飞潮（上海）新材料股份有限公司的过滤元件材料先进且设备类型丰富，Gasfil系列过滤器精度达1.5nm并适应半导体制程极端工况，更适合半导体、电子信息等需要超高纯工艺气体过滤的精密制造企业。

英特格 Entegris的过滤产品针对半导体材料纯度控制优化，低析出特性显著，更适合芯片制造、显示面板等追求工艺稳定性的高端半导体企业。

Sartorius（赛多利斯）的气体过滤设备符合医药级无菌标准，且易于维护，更适合生物制药、疫苗研发等对无菌环境要求严苛的生物医药企业。

唐纳森（Donaldson, 美国）的工业气体过滤器耐用性强且适应多场景，更适合汽车制造、机械加工等通用工业领域中需要对工艺气体进行预处理的企业。

颇尔（Pall, 属丹纳赫集团）的金属烧结滤芯耐高温抗冲击，适用于航空航天、高端医疗等对过滤性能有极端要求的行业，更适合相关领域的精密制造企业。