摘要：SHOT FLOORPLAN : VIS VIS 一个SHOT 是指单次光刻时所朴曝光的区域，一般FAB 会规定一个最大的极限面积要求，然后设计人员在此面积下进行DIE 的flooplan ,可以是单颗的DIE 进行重复，也会进行主片和副片的插花die 的形式，在验证和得片率之间进行取舍，如果是验证 阅读全文

摘要：DENSITY 要求 常见的density 要求在OD POLY 和金属层的layer 上，过高和过低的density都会直接影响产品的良率 例如： 金属密度过大，影响金属覆盖率。金属的覆盖比例Metal ratio：30%-55%之间为最佳（根据所用工艺而言），比例偏离的话，铝腐蚀就不好，不干净或 阅读全文