深度探讨:通过AEC-Q100的“3批次77颗”零失效标准,为什么市场端还是有很多的失效?
很多元器件根据AEC-Q100的标准完成77 * 3Lots 的标准后,在市场端还是有一大堆的失效。这到底是哪里出问题了?
一、“零缺陷”幻觉:231颗样品 VS 高DPPM
老生常谈,还是这张表,之前的文章里也出现过N次了。
(from JESD47)
231 颗零失效,在数学上意味着:在90%的置信度下,小于等于1%的失效。
1%的失效,是多少PPM?1% = 1 / 100 = 1 0000 / 100 0000;是1 0000,1万个PPM。
也就是说,对于77 * 3 的0失效,意味着这些产品可能在市场端有1万个PPM;加上现在产品上那么多的元器件,很多万个PPM就这样出来了。
所以给老板汇报,我们产品质量保证为1万个PPM。不得被劈头盖脸一顿骂?
二、77 * 3 lots 到底在抓什么?
AEC 体系建立的 90 年代,产线缺陷率较高。当时定下 231 颗(LTPD=1%)的抽样,是指望同时拦截“系统性本征失效”和“1%量级的随机早期失效”。但现在晶圆厂的真实随机缺陷率已经降到了
< 1 PPM(百万分之一)
,此时再用231颗去抓这些随机失效,大概率抓不出来(AEC-Q100 抽样的
分辨率失效
)。
现在更多是为了验证芯片的“本征可靠性(Intrinsic Reliability)”。
本征失效:由于芯片设计架构或所选工艺制程本身的物理极限引发的老化。比如电迁移(EM)、热载流子注入(HCI)、经时栅氧击穿(TDDB)。这些机制是“系统性”的。
如果设计有缺陷,这231颗芯片全都会在加速老化中集体阵亡。只要这231颗活下来了,就证明这个设计本身撑得住汽车15年的寿命。
三、随机失效
如果本征可靠性没有问题,那么失效原因大多是由于其他的“随机缺陷”!在晶圆制造(Fab)和封装(ATMP)的量产过程中,外在的随机缺陷(灰尘、掺杂浓度不均、划痕)等才是导致其失效的根本原因。
但这些随机缺陷分布极其稀疏(可能几万颗晶圆里才有一颗),AEC-Q100的231颗抽样根本抓不到它们(第一个里边讲了)。带有这种微小缺陷的芯片,在出厂的功能测试也不会有失效。但在市场端,经过一段时间的折磨(如冷热冲击和震动),这些隐性缺陷就会迅速恶化,导致失效。
所以,现在回答刚开始的问题:
很多元器件根据AEC-Q100的标准完成77 * 3Lots 的标准后,在市场端还是有一大堆的失效。这到底是哪里出问题了?
回答:AEC-Q100的77*3,证明的是这颗芯片“天生骨骼惊奇(设计没问题)”,但无法保证量产平里有没有混入“后天发育不良(制造随机缺陷)”的残次品!
带有隐性缺陷的产品成了漏网之鱼,流向了市场。
四、追杀随机缺陷:PAT(Parametric Part Average Testing)
(From AEC-Q001)
这张图就非常经典,对于一些参数,比如有USL和LSL,如果测试值没有超过spec,那么意味着这个参数是pass的,合格的,没有问题。
但是对于上边这个图,对于两个红虚线之外,LSL和USL之内的测试值,这些值距离整体有一些距离,但是并没有fail。
就像一堆人,大家都坏的差不多,但是有那么几个人更坏一些,又没有到十恶不赦的地步。对他们咋办?
宁肯错杀一千,绝不放过一个。
所以对于这些“离群值(Maverick)”:杀杀杀!
Why?
因为硅原子的物理特性决定了同一片晶圆上的芯片特性高度一致。如果大家都表现为2.5mA,你是10mA?那你肯定有什么问题,有什么毛病。也许是你的栅极氧化层比别人薄了一点,也许是你内部有个微观的漏电通道。虽然你现在还能工作,但在汽车恶劣的环境下,你一定是第一个死掉的。
所以
PAT的核心哲学就是:剔除那些“合格但异常”的芯片。
五、连坐法则:SBA(统计Bin分析)与坏邻居效应
问:用一个成语可以形容男女老少等很多人,但不能出现男女老少?哪个成语合适。
答:满门抄斩 / 诛灭九族
现如今连坐法取消了,实乃一件憾事。
当对于晶圆测试,我们还可以保留这个“优良传统”。
假设在一片晶圆上,某一个区域因为光刻机轻微散焦,导致大面积聚集了十几颗死芯片(Fail Dies)。在这个“死亡区域”的正中间,居然奇迹般地幸存了几颗通过了所有电测试的“好芯片”(
GDIBN (Good Die In a Bad Neighborhood,坏街区里的好芯片
)。
近朱者赤、近墨者黑、近我者帅!!!
所以这些“好芯片”也统统干掉!Why?
因为半导体缺陷的扩散具有空间相关性。周围全军覆没,说明这片区域的工艺参数已经处于极度失控的边缘。这些幸存的芯片,极大概率已经沾染了看不见的边缘缺陷(Marginal Defect),只不过是现在还没发作。
这就是AEC-Q002(SBA,Statistical Bin Analysis)的连坐法!
六、抓“早期随机失效”
如果PAT和SBA 没有尽其功能,还有漏网之鱼怎么办?Ok,根据AEC-Q100,我们继续抓早期失效!

浙公网安备 33010602011771号