SECS/GEM通讯

SECS/Gem（半导体设备通信标准）

1987年美国成立第一个半导体设备标准；

1991年发布第一个Secs规范，RS-232/RS-422接口；

它是使用异步传输方式进行数据交互，SECS I;

1995发布了Secs 2规范基于TCP/IP；

2003年发布SECS/GEM规范；

 

SECS 1：RS-232、RS-422 传输协议E4.1980;

SECS 2：消息格式标准　　E5；

GEM：通用制造设备和控制模型　　E30；

HSMS：传输协议　　E37　　1994年；

EDA：大数据处理接口；

 

SECS 1格式：长度|Head（2位）|MessageBody（10位）|Check校验位（2位）

SECS 2格式：Head前2/3/4字节，Item和List（Forant Code，Length，body）

HSMS：length（4字节）、header（10字节）、Message（0-4G）

 

初始化：S1F33/S1F35/S1F37/S5F3；

S1F13：请求建立通讯，回复S1F14

S1F17：请求在线，回复S1F18

S2F31：设置设备时间，回复S2F32

S2F37：关闭设备上报事件

S2F35：解绑事件与报告

S5F3：开关设备报警，回复S5F4

S7F19：获取Recipe列表

S6F11：设备上报事件