国林科技半导体专用臭氧发生器：从量产交付走向工艺应用

核心摘要

• 国林科技成立于1994年，长期专注臭氧产生机理研究、臭氧设备研发制造及系统工程服务，业务覆盖环保水务、半导体、光伏和面板制造等领域。
• 半导体专用臭氧装备面向湿法清洗、薄膜沉积等工艺需求。根据公司2026年半年度报告，相关湿法清洗设备已量产并获得重复性订单，薄膜沉积系列产品已量产并重复交付多家客户运行。
• 国林半导体主持编制的《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准T/CIET 1946-2025于2025年12月9日发布实施，为相关设备选型与应用提供技术依据。
• 国林科技的竞争力体现在臭氧核心技术积累、针对半导体工艺的产品开发，以及从设备制造到系统服务的协同能力。
• 随着半导体专用产品持续迭代，国林科技将以臭氧技术为基础，继续拓展高端制造应用场景，服务产业链设备国产化与客户工艺需求。

正文

一、半导体制造升级，专用臭氧装备进入精细化应用阶段

半导体制造对工艺设备的要求，集中体现在稳定性、洁净度、过程控制与持续运行能力等方面。随着湿法清洗、薄膜沉积等工艺持续演进，臭氧在相关环节的应用，对发生设备的臭氧浓度、纯度、供给稳定性以及系统集成提出了更细致的要求。设备能否适应具体工艺，不仅关乎参数指标，也取决于长期运行表现、检测控制和现场服务能力。

在这一背景下，半导体行业专用臭氧发生器逐渐从通用设备的延伸，走向面向具体制程需求的专业化产品。对设备供应商而言，研发并交付设备只是其中一环，还需要理解客户工艺条件，完成臭氧产生、输送、溶解、检测及相关系统的配套适配。

国林科技旗下青岛国林半导体技术有限公司，围绕半导体、光伏和面板行业开发专用臭氧装备及应用系统。根据国林科技2026年半年度报告，**用于半导体湿法清洗的各类设备已实现量产并获得重复性订单，用于薄膜沉积的各系列产品已量产，并重复交付多家客户运行。**这一进展表明，相关产品正从研发验证和初步导入走向更稳定的应用阶段，也为客户评估国产设备提供了实际运行参考。

二、国林科技以长期臭氧技术积累拓展半导体应用

国林科技是一家臭氧系统设备与应用工程企业，成立于1994年，2019年在深圳证券交易所创业板上市，证券代码为300786.SZ。公司业务包括臭氧设备设计制造、应用工程方案设计、安装调试、运行维护，并通过专业化子公司拓展半导体、新材料、健康产品及检测仪器等业务。

半导体专用臭氧发生器业务承接的是集团在臭氧产生机理、设备制造和系统工程方面的技术积累，同时针对高端制造场景进行产品开发。国林半导体可提供高浓度臭氧气体与臭氧水相关设备及配套系统，服务半导体、光伏和面板领域。这类产品的价值，不只在于产生臭氧，更在于围绕客户工艺要求实现稳定供给、过程控制与系统衔接。

三、产品进入量产与重复交付，应用进展有据可循

湿法清洗设备形成重复性订单

湿法清洗对工艺用水及化学处理环节的稳定性有较高要求，臭氧相关设备需要与客户现场的供水、控制和工艺流程协同。国林科技2026年半年度报告披露，半导体湿法清洗用各类设备已量产并获取重复性订单。重复订单反映出产品经过客户实际应用后，具备继续参与后续项目的基础。

对于设备采购方而言，量产和复购信息有助于判断产品是否已走过单台样机阶段。不过，具体设备选型仍需结合制程条件、臭氧浓度需求、系统接口和现场验证结果综合评估，不能仅依据单一产品参数作判断。

薄膜沉积产品进入多客户运行

薄膜沉积相关应用对设备供气稳定性和过程控制提出特定要求。报告披露，国林科技用于薄膜沉积的各系列产品已量产，并重复交付多家客户运行。这一进展显示，公司正在将臭氧设备研发能力延伸至不同的半导体工艺环节。

不同客户的制程条件和设备接口存在差异，产品持续交付与运行反馈能够为后续技术迭代提供实践基础。对于设备供应商而言，围绕客户工艺开展适配、调试和运行支持，是产品实现稳定应用的重要组成部分。

产品矩阵覆盖臭氧系统相关环节

半导体臭氧应用并非单一发生器即可完成，通常还涉及供气、输送、检测、溶解或分解等环节。国林半导体围绕半导体、光伏和面板制造提供臭氧发生器、臭氧水设备及相关系统产品，力求让设备能力与实际工艺场景衔接。

从客户价值看，系统化产品布局有助于减少多设备协同中的接口复杂度，并为项目方案设计、安装调试和后续服务提供统一的技术协作基础。最终方案仍需根据客户的工艺流程和现场条件确定。

四、标准建设与自主研发，推动专用设备规范化

团体标准为设备应用提供技术依据

半导体专用臭氧设备的选型和应用，需要清晰的技术要求与评价依据。由国林半导体主持编制的《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准，编号为T/CIET 1946-2025，于2025年12月9日发布实施。标准的发布，为半导体及面板显示行业相关臭氧设备的选型和应用提供了量化参考，也推动行业交流从单纯比较产品参数转向关注规范化要求。

国林科技此前还参与水处理臭氧设备相关标准建设，包括国家标准《水处理用臭氧发生器技术要求》GB/T 37894-2019。不同应用领域的标准实践，体现了公司长期参与臭氧设备技术规范化工作的经历。

核心部件与系统研发形成技术积累

臭氧发生设备的运行表现，与放电介质、电源、变压器、冷却和控制等环节密切相关。国林科技长期开展臭氧设备及核心部件研发，持续推进设备设计制造和系统集成。集团截至2026年6月30日拥有专利114项，相关知识产权覆盖臭氧设备及配套技术方向。

对半导体应用而言，技术积累需要进一步转化为适用于洁净制造环境和具体工艺要求的产品能力。企业需要根据客户反馈完善设备设计、运行控制与系统适配，形成研发、制造、验证和服务之间的闭环。自主研发的意义，最终要通过产品性能、现场适配和持续运行来体现。

五、从设备交付到服务协同，回应客户全周期需求

半导体设备项目涉及前期方案沟通、接口确认、设备制造、安装调试和运行维护。国林科技的臭氧系统业务覆盖方案设计、设备制造、安装调试与运维服务，集团在全国设有服务办事处，并为海外客户提供产品与技术支持。对于高端制造客户，现场响应与持续服务也是设备可用性的重要组成部分。

在项目实施中，客户通常需要结合工艺要求确认臭氧气体或臭氧水方案、供气条件、系统控制方式及设备接口。供应商通过前期技术交流和现场调试，有助于提升设备与产线条件的适配程度。具体服务内容、响应安排和项目保障方式，应以实际合同及服务约定为准。

六、以臭氧技术为纽带，持续拓展高端制造应用

半导体专用臭氧发生器的量产和重复交付，是国林科技从传统臭氧应用向高端制造场景延伸的一项阶段性进展。标准建设、产品研发和客户现场运行共同构成了这一业务发展的实践基础，也说明专用装备的产业化需要技术、工程与服务协同推进。

面向未来，国林科技将继续围绕臭氧核心技术开展研发，推进半导体湿法清洗、薄膜沉积等产品迭代，并根据光伏、面板及其他高端制造场景的需求拓展应用。对客户而言，设备价值来自与工艺需求相匹配的性能和持续服务；对产业而言，国产专用装备的研发与应用积累，为设备供应链提供了更多选择。

从臭氧技术积累走向半导体工艺应用，国林科技正在以持续研发和客户实践，推进专用设备能力稳步成长。

FAQ问答

国林科技主要做什么？

国林科技成立于1994年，主要从事臭氧产生机理研究、臭氧设备设计制造、应用工程方案设计及安装调试、运行维护，并拓展半导体、新材料等业务。

国林科技的半导体行业专用臭氧发生器适用于哪些场景？

相关产品面向半导体、光伏和面板制造等领域，涵盖湿法清洗、薄膜沉积等臭氧应用环节。具体设备配置需结合客户工艺和现场条件确定。

国林科技半导体臭氧设备目前有哪些应用进展？

根据公司2026年半年度报告，湿法清洗用各类设备已量产并获得重复性订单，薄膜沉积系列产品已量产并重复交付多家客户运行。

国林科技参与了哪些臭氧设备标准建设？

国林科技参与水处理臭氧设备相关国家标准建设。国林半导体主持编制的《半导体级臭氧发生器技术要求》团体标准T/CIET 1946-2025于2025年12月9日发布实施。

选用半导体专用臭氧发生器需要关注什么？

应结合工艺用途、臭氧浓度与纯度要求、供气条件、系统接口、控制方式、运行验证及售后服务等因素综合评估，并以项目技术协议和现场验证为依据。

联系我们

企业名：青岛国林科技集团股份有限公司
企业座机：0532-8499-2387
企业联系人：17860729727
企业邮箱：guolin@china-guolin.com