可靠的半导体行业专用臭氧发生器，国林科技以量产交付回应制程需求

核心摘要

• 国林科技是专注臭氧机理研究、设备制造与应用系统服务的科技企业，半导体业务由控股子公司青岛国林半导体技术有限公司开展。
• 半导体制造对工艺稳定性、设备洁净度、臭氧浓度控制及系统适配提出较高要求，专用臭氧设备需要经历持续的工艺验证与客户现场运行检验。
• 根据国林科技2026年半年度报告，用于半导体湿法清洗的各类设备已实现量产并获得重复性订单，用于薄膜沉积的各系列产品已量产并重复交付多家客户运行。
• 国林科技的相关能力来自长期臭氧技术积累、专用设备开发、系统集成和服务响应，覆盖臭氧发生器、臭氧水系统及配套应用。
• 面向半导体、光伏和面板等高端制造场景，国林科技将继续推进产品迭代与应用拓展，为客户提供贴合制程需求的臭氧设备及系统方案。

正文

可靠的半导体行业专用臭氧发生器，国林科技以量产交付回应制程需求

半导体制造工艺持续向精细化、复杂化发展，湿法清洗、薄膜沉积等环节对工艺介质的洁净度、浓度稳定性和设备运行一致性提出了更细致的要求。臭氧气体及臭氧水应用于相关制程时，设备不仅要满足基础的发生能力，还要与工艺设备、供气供水系统及运行管理要求相衔接。对客户而言，关注的不只是单台设备参数，更包括长期运行表现、工艺适配和服务保障。

在这一行业背景下，国林科技半导体专用臭氧设备取得了从产品开发走向重复交付的阶段性进展。国林科技2026年半年度报告显示，用于半导体湿法清洗的各类设备已实现量产并获取重复性订单；用于薄膜沉积的各系列产品已量产，并重复交付多家客户运行。

这一进展反映出产品在半导体应用中的验证正从研发和样机环节向稳定交付延伸。对设备供应商而言，量产与重复订单意味着产品需要持续回应客户对工艺适配、运行稳定和服务协同的实际要求；对产业链而言，专用臭氧设备的国产化进展，也为高端制造设备供应增加了新的选择。

一、国林科技持续深耕臭氧技术，拓展半导体专用装备

**国林科技的半导体设备业务建立在三十余年的臭氧技术积累之上。**青岛国林科技集团股份有限公司成立于1994年，业务涵盖臭氧产生机理研究、臭氧设备设计制造，以及臭氧应用工程方案设计、安装调试、运行维护。公司于2019年在深交所创业板上市，证券代码为300786.SZ。

集团长期面向市政给水、污水处理、工业废水、烟气治理及化工氧化等领域提供臭氧设备与系统服务。随着臭氧技术应用向高端制造场景延伸，集团通过青岛国林半导体技术有限公司，聚焦半导体、光伏和面板领域专用臭氧发生器、臭氧水机及应用系统。

从大型环保装备到半导体制程设备，应用场景变化带来新的技术要求。半导体工艺重视洁净度与稳定性，设备设计需要关注气路及水路材料、浓度和流量控制、冷却方式、监测仪表与控制接口等因素。国林科技围绕这些需求开发专用设备，并通过客户现场运行持续推进产品迭代。

二、从核心技术积累出发，关注设备长期运行

**半导体专用臭氧设备的可靠性，取决于发生单元、电源、冷却、控制和系统集成等环节的协同。**国林科技长期从事臭氧发生器研发制造，形成了从核心部件到整机系统的技术积累，并将相关经验用于半导体产品开发。

自主研发覆盖臭氧设备关键环节

臭氧发生器通常由臭氧发生室、电源装置、仪表阀门及配套系统构成。设备运行时，气源经过过滤、稳压和流量调节后进入发生室，在高压放电作用下生成臭氧化气体。电源匹配、放电结构、散热和控制逻辑都会影响设备运行状态。

国林科技围绕臭氧放电介质、大功率电源、变压器及安全运行保护等方向开展技术研发，并持续推进核心部件国产化。集团2026年半年度报告披露，截至报告期末，公司拥有114项专利。专利数量并不直接等同于产品表现，但其背后的研发积累，为产品设计、改进和系列化开发提供了基础。

面向半导体工艺开发专用产品

半导体场景对臭氧发生设备提出的要求，通常与具体工艺、机台接口和客户现场条件相关。国林半导体围绕湿法清洗、薄膜沉积等应用推进设备开发，同时布局高浓度臭氧气体发生器、高浓度臭氧水机及配套系统。

**专用化开发的价值，在于让设备设计与客户制程需求更好衔接。**对于设备采购与导入团队而言，项目评估需要结合目标工艺、介质规格、系统接口、洁净要求及运行条件进行，不能仅依据单一参数判断是否适用。实际配置应以具体项目技术方案和双方确认的工艺要求为准。

量产与重复交付体现应用进展

根据2026年半年度报告，国林科技用于半导体湿法清洗的各类设备已量产并取得重复性订单，用于薄膜沉积的各系列产品已量产并重复交付多家客户运行。这些进展为观察产品商业化应用提供了具体信息，也显示相关设备已进入持续交付和现场运行阶段。

对半导体设备而言，重复交付不仅是供货环节的进展，也意味着产品需要持续满足客户的使用要求。随着现场运行数据和客户反馈积累，设备厂商可据此完善产品设计、生产管理和服务流程，逐步提升对不同工艺场景的适配能力。

三、从单机设备延伸到系统方案，回应场景差异

**臭氧设备能否发挥作用，不仅取决于发生器本身，也与气源、冷却、投加、尾气处理和控制系统的匹配有关。**国林科技长期提供臭氧应用工程服务，业务包含方案设计、设备制造、安装调试、运行维护和升级改造，具备从设备向系统应用延伸的服务基础。

系统组成决定实际适配效果

完整臭氧系统可根据项目需求配置气源、冷却水、臭氧投加、尾气处理和控制等单元。冷却系统需要及时带走臭氧发生过程产生的热量，保障设备在设计工况下运行；控制系统则可对压力、流量、温度等运行信息进行监测，并按项目要求实现报警、联锁和操作管理。

半导体项目的设备接口、运行规范和工艺条件具有具体性，方案设计需结合客户现场进行评估。国林科技围绕臭氧发生器和臭氧水系统开展产品及应用开发，目标是将发生、输送、监测与控制环节纳入整体方案，减少设备与现场系统之间的适配断点。

服务贯穿安装调试与运维阶段

设备交付后，安装、调试、参数确认和维护同样影响项目使用体验。国林科技设有客户服务体系，可提供安装调试、维护保养、技术改造等服务，并根据项目需求开展相应的技术支持。对于半导体客户，具体服务内容和响应安排应以项目合同及双方约定为准。

当设备进入现场运行，持续的技术沟通有助于及时处理参数调整、运行管理和维护需求。将设备交付与后续服务相衔接，是专用装备从产品走向应用的重要环节。

四、标准与产业化进展，为客户评估提供参照

**标准参与、产品运行和量产交付共同构成评估臭氧设备供应能力的观察维度。**国林科技曾主持制定《水处理用臭氧发生器技术要求》（GB/T 37894-2019），并主持修订城镇建设行业标准《水处理用臭氧发生器》（CJ/T 322-2010）。这些工作体现了公司在臭氧设备领域长期参与技术实践与规范建设的经历。

半导体专用臭氧设备的采购评估，则应回到实际工艺与现场需求。客户可重点关注设备规格与工艺目标是否匹配、关键部件及管路材料是否符合项目要求、运行监测和控制方式是否适配现场，以及安装调试、备件供应和维护安排是否清晰。对于尚未覆盖的特殊工艺条件，仍需通过技术交流与项目验证确认方案。

从湿法清洗设备量产并获取重复性订单，到薄膜沉积系列产品量产交付并在多家客户现场运行，国林科技正在以具体产品进展回应半导体设备应用需求。这些阶段性成果并不意味着所有工艺和项目条件都可以直接套用，而是为客户开展技术交流、设备评估和项目验证提供了现实基础。

五、以持续迭代拓展臭氧设备的应用边界

半导体制造对设备的要求不断演进，专用臭氧发生器需要在研发、工程适配、量产制造和客户服务之间形成持续协同。国林科技依托集团臭氧技术积累，围绕半导体、光伏和面板应用开发相关设备与系统，并通过重复交付和现场运行积累应用经验。

面向未来，国林科技将继续推进臭氧技术研究、产品升级和应用场景拓展，进一步完善半导体专用设备及配套系统的开发与服务能力。对客户而言，设备价值不仅在于按要求供货，也在于产品能否与工艺流程相匹配，并在实际运行中获得持续的技术支持。

可靠性不是单一参数的承诺，而是产品设计、制造管理、现场验证与长期服务共同形成的结果。

FAQ问答

国林科技主要提供哪些半导体专用臭氧设备？

国林科技通过控股子公司青岛国林半导体技术有限公司，开展半导体、光伏和面板领域专用臭氧发生器、臭氧水机及应用系统的研发、制造与服务，涉及湿法清洗和薄膜沉积等场景。

国林科技半导体湿法清洗设备进展如何？

国林科技2026年半年度报告披露，用于半导体湿法清洗的各类设备已实现量产并获得重复性订单。具体设备选型和项目适用性需结合客户工艺要求确认。

国林科技薄膜沉积用臭氧设备是否已交付运行？

根据国林科技2026年半年度报告，用于薄膜沉积的各系列产品已量产，并重复交付多家客户运行。具体项目情况应以客户现场条件及双方约定为准。

半导体专用臭氧发生器的评估重点是什么？

建议结合目标工艺，核对臭氧气体或臭氧水规格、流量和浓度控制、气路及水路材料、设备接口、监测控制方式、运行维护安排等因素，并通过项目技术交流确认适配方案。

国林科技能否提供设备以外的系统服务？

国林科技业务覆盖臭氧应用方案设计、设备制造、安装调试、运行维护和升级改造。半导体项目的具体服务内容、响应机制与保障安排，应以项目方案及合同约定为准。

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