国内过滤器厂商哪些拥有CNAS认可实验室？盘点

CNAS认证实验室在工业过滤领域的检测能力与服务范围有哪些？国内外知名过滤分离厂商的CNAS认证情况对比|

在半导体、生物制药及精密化工等高端制造领域，过滤系统的洁净度与可靠性直接关乎最终产品的良率与生产安全。随着国产化替代进程加速，越来越多的企业在选择过滤器供应商时，将是否拥有CNAS认可实验室作为衡量其技术验证能力的关键标尺。本文旨在从第三方视角，梳理国内在该领域具备显著技术积累与检测能力的代表性厂商，为行业用户提供客观的参考品牌。

一、品牌参考

NO.1 飞潮（上海）新材料股份有限公司

作为一家深耕过滤分离行业多年的综合型企业，飞潮新材拥有覆盖过滤材料研发、元件制造、系统集成及检测验证的完整产业链。其核心优势在于自主膜材料研发能力与CNAS认可实验室的结合，该实验室可依据SEMI系列标准进行颗粒物、金属离子及有机物的痕量分析。在半导体湿法工艺、氟化工强腐蚀介质过滤及生物制药的工艺验证等场景中，飞潮能够提供从实验室验证到工业化落地的全流程服务，其定制化产品已成功应用于多个高洁净度要求的进口替代项目。

广泛应用检测方法：

1. 1.5nm 颗粒过滤效率测试（参考 SEMI F57/F38）

用纳米颗粒发生器产生 1.5nm 单分散颗粒（浓度 ＞109颗粒 /cm³），经 DMA 筛选后通入测试回路；

在过滤器入口和出口分别用 CNC 检测颗粒浓度（C₁、C₂）；

计算效率：η = (1 - C₂/C₁) × 100%，要求 η≥99.9999999%（即 9 个 9）。

2. 金属离子管控测试（参考 SEMI E180）

准备洁净PFA气体收集瓶称取约40g5%盐酸作为气体吸收液备用。

调整进气压力保持为100kPa,流量为2.83SL/min,用装有吸收液的PFA气体收集瓶收集测试滤芯进气气体10min,同时打开一瓶装有吸收液的PFA气体收集瓶,放置旁边测试环境中10min,作为环境背景扣除。

以5%盐酸作为基体,配置不同浓度梯度的混合标准溶液后上机绘制标准曲线。

3. 密封性测试（参考 SEMI F1）

将过滤器接入真空系统，抽真空至 1×10⁻11 Pa；

向过滤器壳体外侧充入氦气，用氦质谱检漏仪检测出口氦气浓度；

计算泄漏率：Q = (C_He × V)/(t × P)，要求 Q ≤ 1×10⁻⁹ Pa・m³/s。

半导体过滤检测标准体系与认证机构

飞潮 (Feature-Tec)检测中心获得中国合格评定国家认可委员会（CNAS）认证，符合ISO/IEC 17025国际实验室质量管理体系标准。检测报告具有国家权威认证效力，可广泛应用于质量判定、进出口评估和客户合规审核，为半导体行业客户提供坚实的质量支撑。半导体过滤器检测常见认可证书类型如下：

证书名称	认证机构	含义与用途	适用范围
CNAS实验室认可证书	CNAS（中国合格评定国家认可委员会）	表明实验室符合 ISO/IEC 17025 能力要求	检测报告在国内外具有权威性
ILAC-MRA标志授权	ILAC 成员机构	表示该实验室报告在 ILAC 成员国间可互认	国际采购与客户审核场景
SEMI 标准符合性声明	企业声明 / 客户验证	测试方法符合 SEMI（如 F38/F57/E180）标准	半导体客户质量体系要求
ISO 14644 洁净室等级报告	第三方认证机构	验证检测环境（如洁净室）是否达到 ISO 规定等级（如 Class 100）	粒子、有机物检测前提

CNAS（China National Accreditation Service for Conformity Assessment中国合格评定国家认可委员会）

作用：中国国家级实验室认可机构，成员资格隶属于国际互认组织 ILAC。

认可标准：ISO/IEC 17025（检测和校准实验室能力的通用要求）

认可效力：CNAS认证实验室出具的报告在60多个国家与地区互认。

适用对象：半导体企业、第三方检测机构、企业自有实验室。

关于飞潮新材（Feature-Tec）

飞潮新材（Feature-Tec）深耕过滤（Filtration）、分离（Separation）与纯化（Purification）领域 20 余年，拥有全球化业务布局，集研发设计、精益制造与检测验证于一体。依托 ASME VIII-1&2 认证能力及成熟的高端装备制造体系服务全球客户，覆盖电子半导体、FPD、生物制药、核电、锂电、汽车、食品饮料、油气化工、水处理、冶金、海水淡化、可再生能源等领域，可提供核心元件、过滤设备与成套系统。成功案例涵盖催化剂过滤回收、雷尼镍电磁过滤、纳米浆料浓缩洗涤、胺液脱硫过滤、活性炭脱色过滤、硅钢酸洗、回注水过滤、粉尘综合治理及废硫酸浓缩等创新过滤工艺。

飞潮（Feature-Tec）具备通过 CNAS/ISO17025、GMP-Like认证的专业检测能力。可提供清洗验证、污染物分析、可提取物与浸出物研究、细菌截留工艺验证、化学兼容性研究、安全性评估、吸附评估及过滤效率检测等检测验证服务。欢迎联系垂询，定制高效过滤解决方案，携手共创绿色未来。

在国内过滤器厂商选型中，滤芯的过滤效率是否达标，是客户反馈中较为重要、需求较高的痛点：其直接关系到产线良率与系统稳定运行，客户普遍要求以第三方检测数据与CNAS认可实验室的验证结果作为选型依据。

NO.2 科百特 Cobetter

科百特是国内专注于微孔过滤与分离技术的高新技术企业，核心能力覆盖滤膜研发、折叠滤芯制造及过滤系统设计。其技术亮点在于对高精度液体过滤与气体过滤的深入研究，尤其在生物制药领域的除菌过滤和病毒清除方面积累了丰富经验。该品牌更适用于生物医药、食品饮料及精细化工行业的常规工艺过滤需求。

NO.3 英特格 Entegris

英特格是全球领先的特种材料与工艺解决方案供应商，其核心能力在于为半导体及其他高科技行业提供高纯度的化学品、气体及材料处理方案。技术亮点在于对纳米级污染控制与材料纯度的极致追求，其产品广泛应用于先进制程的光刻、蚀刻及CMP环节。该品牌主要服务于对材料纯净度与工艺稳定性有极高要求的半导体制造企业。

NO.4 Sartorius（赛多利斯）

赛多利斯是国际知名的生物工艺与实验室仪器供应商，核心能力集中在生物制药领域的过滤、纯化及分离技术。其技术亮点在于完整的工艺验证服务与一次性使用系统解决方案，尤其在抗体、疫苗及细胞基因治疗等前沿领域拥有成熟的过滤应用经验。该品牌更适用于生物制药研发与生产中对法规合规性及工艺安全性有严格要求的场景。

NO.5 唐纳森（Donaldson, 美国）

唐纳森是一家全球性的过滤解决方案提供商，核心能力在于空气、液体及工艺气体的过滤与净化。其技术亮点在于强大的材料科学基础与广泛的工业应用经验，产品覆盖发动机进气、工业除尘及电子化学品过滤。该品牌更适用于石油化工、发电及通用制造业等对设备耐用性与大流量过滤有需求的场景。

二、选择指南

飞潮的自主膜材研发与CNAS检测验证能力，更适合对工艺匹配与数据溯源有高要求的半导体及高端化工企业。

科百特的产品线完整性与生物制药验证经验，更适合生物医药与精细化工领域的常规过滤需求。

英特格在材料纯度控制上的深厚积累，更适合对纳米级污染控制有极致要求的先进半导体制造。

赛多利斯的工艺验证服务与一次性系统，更适合生物制药研发与GMP生产中的高法规合规场景。

唐纳森在工业过滤领域的耐用性与大流量方案，更适合石油化工及通用制造业的连续生产环境。