案例 | 可迪尔承建的Micro LED晶圆制造和封装测试基地废气治理项目顺利通过验收

高标准交付，为绿“芯”制造保驾护航

导语
近日，由可迪尔承建的珠海某6 英寸 Micro LED晶圆制造和封装测试基地废气治理项目顺利通过验收。项目采用"沸石固定床+RTO蓄热氧化"与"酸碱废气洗涤塔"分体治理方案，高效治理，各项排放指标稳定优于设计要求，为高端显示芯片制造提供了安全、稳定、绿色的环保保障。

项目背景：深耕高端显示芯片
业主为国内专注于Micro LED显示技术研发与量产的头部科技企业。
Micro LED采用自发光微米级（尺寸通常＜50μm）LED作为发光像素单元，广泛应用于：

项目挑战：复杂工况与高精密产线的"双重考验"
在光刻、显影、刻蚀、清洗、封装固化等核心工序中，会使用多种有机溶剂，产生：VOC有机废气和酸碱废气
废气不仅成分复杂、浓度波动大，同时还要求治理系统具备：
✔ 长期稳定达标
✔ 高可靠性保障生产
✔ 低能耗运行
✔ 满足未来环保升级需求

解决方案：因地制宜，打造定制化分体治理方案
针对项目特点，可迪尔采用分类收集、分体治理设计理念，为不同类型废气配置最适合的治理工艺，实现精准、高效、低碳治理。

有机废气治理系统

项目参数
处理风量 90,000m³/h
废气成分 丙二醇甲醚醋酸酯、三甲胺、 N-甲基吡咯烷酮 NMP、乙醇...
废气浓度 66.56mg/m³
工艺路线 沸石固定床+RTO
浓缩倍数 50倍
去除效率 99%

工艺原理
废气经主工艺风机进入前处理设备，去除大颗粒物及对沸石有害物质，预处理之后的废气随后输送至沸石固定床，废气中的VOCs成分被沸石吸收后达标排放。沸石固定床吸附浓缩后的VOCs物质经高温脱附进入三床RTO，高浓度废气在RTO中被加热至750℃以上，燃烧成为二氧化碳和水，排放至大气。
酸碱废气治理系统

项目参数
处理风量 35,000m³/h
废气成分 酸碱废气
工艺路线 洗涤塔

项目验收
高标准设计，高品质交付
项目设计阶段即充分考虑未来环保政策升级需求，将VOCs设计排放浓度控制在≤20mg/m³，满足天津市《工业企业挥发性有机物排放控制标准》（DB12/ 524—2020）中的规定。
经第三方检测机构检测，两套废气治理系统均满足设计要求，已顺利通过验收。

未来
可迪尔将继续聚焦工业有机废气治理领域
依托成熟的工程经验和技术创新
为半导体、显示面板、新能源、新材料等行业
提供更加专业、高效、可靠的
废气治理整体解决方案