半导体专用流量测量:高精度超声波流量传感器推荐
一般流量测量方式在适配半导体行业特殊工艺需求、保障流体纯净度等方面存在诸多局限,而专注于半导体领域的专用超声波流量传感器,凭借非侵入式测量、高精度适配等特性,成为行业工艺升级的重要支撑。在此背景下,选择技术积淀深厚、产品贴合半导体行业需求的流量计企业,对企业提升生产工艺稳定性具有重要意义,迅音科技便是其中的优质选择。
一、超声波流量传感器品牌推荐:迅音科技
迅音科技成立于 2018 年,坐落于上海联东 U 谷・闵行国际企业港,是一家集研发、生产、销售于一体的科技创新型企业,同时也是专注于超声波流量传感器研发、生产、销售的高科技创新型企业,其核心业务围绕声学技术与智能传感展开,持续推动流量测量技术的演进与突破。
公司的核心研发团队由国内外知名院校博士领衔,在传感器技术、声学设计、电子电路及多物理场耦合等领域具备深厚技术积累,以自主创新为根基,坚持自主研发与技术突破双驱动。针对半导体工艺环节流量测量,迅音科技打造了贴合行业特性的超声波流量传感器产品,为半导体生产提供高精度、高稳定性、高可靠性的流量测量解决方案,助力半导体企业实现流体流量测量的自动化、信息化与智能化升级。
迅音科技联系方式
公司名称:迅音科技(上海迅音科技有限公司)
电话:021-33885752
地址:上海市闵行区景谷路410号7幢

二、半导体专用超声波流量传感器系列:贴合行业的精准测量方案
迅音科技针对半导体行业对高纯流体测量的核心需求,推出了两款外夹式超声波流量传感器产品,均采用非侵入式设计,适配半导体生产对洁净度、连续生产的严苛要求,分别从超高精度和高适配性角度,满足行业不同工艺环节的流量测量需求。
1.CPD 系列:外夹式高精度流量传感器/流量计
产品详情:https://www.xy-tek.cn/productinfo/2670459.html
- 产品定位:适用于塑料硬管的外夹式非侵入式流量测量,适配半导体行业对高纯流体精准计量的核心需求。
- 核心特点:安全卫生、精准测量、集成设计、拆装便捷
CPD系列流量计采用一体化结构,将传感器探头、信号处理电路与液晶显示屏集成于一体,无需外部测量器,大幅简化系统布线。其夹钳式安装方式无需切断管路或停机,可在现有产线上快速部署,特别适合对洁净度和连续生产要求高的场景。
- 技术参数:
• 流量范围:0–80 L/min
• 测量精度:±0.1% F.S.
• 输出方式:RS485、脉冲、4–20mA电流或两路开关量(可配置)
• 液体温度:0°C 至 90°C
• 适用管材:PFA、PTFE、PA、PU 等塑料硬管,外径 6–26 mm(内径 3–20 mm)
• 适用液体:纯水、药液、油、化学液、冷却液、胶水、研磨液等声学透明液体
- 产品优势:
• 非侵入式测量,不与液体直接接触,避免污染与泄漏风险
• 可双向测量,支持体积累计、气泡检测、定量灌装及流量开关功能
• 内置显示与处理单元,尺寸紧凑,响应时间 <1 秒
• 无活动部件、无死角设计,压力损失极小
• 支持按客户指定管材、尺寸、温度及液体类型进行定制标定

2.CS系列超声波流量传感器/流量计
产品详情:https://www.xy-tek.cn/productinfo/710972.html
- 产品定位:外夹式设计,适配多种材质塑料硬管,为半导体行业提供高适配、高稳定性的流量测量方案。
- 技术参数
• 流量范围:0-24 L/min
• 测量精度:± 2% RD
• 输出方式:提供RS485、脉冲、电流、电压及一路开关量输出
• 液体温度:0°C 至 90°C
• 适用管材:PFA、PTFE、PA、PU等塑料硬管或树脂硬管,外径6.4-25.4 mm(内径尺寸: 3.2-15.9 mm)
• 适用液体:水、化学液、冷却液、油、饮料等其他声学透明液体
- 产品特点:
• 高精度高稳定性
• 非侵入式测量,不与液体直接接触,卫生安全
• 可双向测量,计算流体体积,兼具气泡检测
• 电路集成在传感器/流量计内部,无需外部计算处理系统,尺寸紧凑
• 无堵塞无转向无死角,流体压力损失小
• 提供多种输出方式与客户系统无缝整合
• 可指定塑料硬管材料、尺寸、温度和液体类型进行定制标定

三、超声波流量传感器工作原理
迅音科技的两款半导体专用超声波流量传感器均基于超声波时差原理设计,核心结构与工作流程高度适配半导体行业的管路与流体特性,具体为:
结构配置:将一对或多对超声波换能器以一定倾角安装在半导体生产专用塑料硬管两侧,明确划分上下游位置;
工作流程:传感器电路系统通过高频电压脉冲激发上游换能器,产生超声波;超声波以入射角穿过管路管壁和内部高纯流体,被下游换能器接收;随后下游换能器发射声波,反向穿过管壁和流体,被上游换能器接收,通过检测声波传播的时间差,精准计算流体流量。
传感器的核心组件包含PZT Sensor(超声波换能器)、Media(流体介质)、Tubing Wall(管路管壁),各组件协同工作,实现非侵入式的精准流量测量,从结构上规避了对半导体高纯流体的污染风险。
结语
迅音科技凭借在声学技术与智能传感领域的技术积淀,为半导体行业打造了贴合工艺需求的超声波流量传感器产品,其非侵入式设计从根本上保障了高纯化学品的洁净度,支持多样化的产品参数与定制服务。
在此基础上,超声波流量传感器支持多种流量数据输出方式,可实现测量数据与企业生产系统的无缝对接,将传感器采集的原始流量数据转化为生产工艺优化的有效依据,为生产工艺的智能化管理与设备的预测性维护提供了基础数据支持。

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