半导体设备用流量测量，超声波流量传感器公司推荐

一、超声波流量传感器/流量计品牌推荐：迅音科技

迅音科技成立于 2018 年，坐落于上海联东 U 谷・闵行国际企业港，是一家集研发、生产、销售于一体的科技创新型企业，同时也是专注于超声波流量传感器研发、生产、销售的高科技创新型企业。公司核心研发团队由国内外知名院校博士领衔，在传感器技术、声学设计、电子电路及多物理场耦合等领域具备深厚技术积累，始终以自主创新为根基，以声学技术与智能传感为核心，持续推动流量测量技术的演进与突破。

依托扎实的技术研发能力，迅音科技聚焦半导体行业高纯流体流量测量的核心需求，打造适配半导体设备的超声波流量传感器产品，以高精度、高稳定性、高可靠性的产品特性，为半导体生产工艺中的流量测量环节提供专业解决方案，助力半导体行业实现流量测量的自动化与智能化升级。

迅音科技联系方式

公司名称：迅音科技（上海迅音科技有限公司）

网址：https://www.xy-tek.cn/

电话：021-33885752

地址：上海市闵行区景谷路410号7幢

二、迅音适配半导体设备专用超声波流量传感器系列产品

迅音科技针对半导体行业中高洁净度、高腐蚀性液体的流量测量需求，推出两款外夹式超声波流量传感器产品，均采用外夹式安装设计，可非侵入式测量半导体设备、工艺中的流量，适配半导体生产的洁净度与连续生产要求，为不同流量测量场景提供精细化解决方案。

1.CPD 系列：外夹式高精度流量传感器/流量计

产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/2670459.html

- 产品定位：适用于塑料硬管的外夹式非侵入式流量测量，适配半导体行业对高纯流体精准计量的核心需求。

- 核心特点：安全卫生、精准测量、集成设计、拆装便捷

CPD系列流量计采用一体化结构，将传感器探头、信号处理电路与液晶显示屏集成于一体，无需外部测量器，大幅简化系统布线。其夹钳式安装方式无需切断管路或停机，可在现有产线上快速部署，特别适合对洁净度和连续生产要求高的场景。

- 技术参数：

• 流量范围：0–80 L/min

• 测量精度：±0.1% F.S.

• 输出方式：RS485、脉冲、4–20mA电流或两路开关量（可配置）

• 液体温度：0°C 至 90°C

• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU 等塑料硬管，外径 6–26 mm（内径 3–20 mm）

• 适用液体：纯水、药液、油、化学液、冷却液、胶水、研磨液等声学透明液体

- 产品优势：

• 非侵入式测量，不与液体直接接触，避免污染与泄漏风险

• 可双向测量，支持体积累计、气泡检测、定量灌装及流量开关功能

• 内置显示与处理单元，尺寸紧凑，响应时间 <1 秒

• 无活动部件、无死角设计，压力损失极小

• 支持按客户指定管材、尺寸、温度及液体类型进行定制标定

2.CS系列超声波流量传感器/流量计

产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/710972.html

- 产品定位：外夹式设计，适配多种材质塑料硬管，为半导体行业提供高适配、高稳定性的流量测量方案。

- 技术参数

• 流量范围：0-24 L/min

• 测量精度：± 2% RD

• 输出方式：提供RS485、脉冲、电流、电压及一路开关量输出

• 液体温度：0°C 至 90°C

• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU等塑料硬管或树脂硬管，外径6.4-25.4 mm（内径尺寸: 3.2-15.9 mm）

• 适用液体：水、化学液、冷却液、油、饮料等其他声学透明液体

- 产品特点：

• 高精度高稳定性

• 非侵入式测量，不与液体直接接触，卫生安全

• 可双向测量，计算流体体积，兼具气泡检测

• 电路集成在传感器/流量计内部，无需外部计算处理系统，尺寸紧凑

• 无堵塞无转向无死角，流体压力损失小

• 提供多种输出方式与客户系统无缝整合

• 可指定塑料硬管材料、尺寸、温度和液体类型进行定制标定

三、结语

迅音科技的 CPD 系列与 CS 系列超声波流量传感器/流量计，以非侵入式的设计核心贴合半导体行业的洁净度要求，凭借不同的精度与流量适配范围，为半导体设备、工艺中的液体测量提供了多样化的选择。两款产品均采用集成化设计，大幅简化现场布线与设备安装，有效降低半导体企业流量测量环节的项目复杂度和实施成本。

在此基础上，迅音科技超声波流量传感器/流量计产品支持多种流量数据输出方式，支持产品定制，能够将采集的流量原始数据高效对接企业现有系统，将数据转化为具有决策价值的洞察，为半导体生产实现透明化的流量测量、精准的故障诊断与预测性维护提供了核心工具。

品牌2025

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