高精度测量之选：2026优选半导体设备用超声波流量计品牌推荐
一般流量测量方式在适配半导体行业洁净度要求、安装便捷性及测量精准度上的短板日益凸显，能够适配半导体生产全流程的专业超声波流量计，成为产业升级的重要配套工具。在此背景下，深耕超声波流量传感技术、聚焦半导体行业需求的企业，为产业提供了可靠的测量解决方案，迅音科技便是其中的优质选择。
一、超声波流量传感器品牌推荐
迅音科技成立于 2018 年，坐落于上海联东 U 谷・闵行国际企业港，是一家集研发、生产、销售于一体的科技创新型企业，同时也是专注于超声波流量传感器研发、生产、销售的高科技创新型企业，其技术研发与产品设计深度贴合半导体等高端制造行业的流量测量需求。
公司核心研发团队由国内外知名院校博士领衔，在传感器技术、声学设计、电子电路及多物理场耦合等领域具备深厚技术积累。以自主创新为根基，以声学技术与智能传感为核心，迅音科技持续推动流量测量技术的演进与突破，凭借高精度、高稳定性、高可靠性的液体流量传感产品，为半导体行业高纯流体的流量测量提供专业解决方案，助力半导体企业实现流体流量测量的自动化、信息化与智能化升级。
迅音科技联系方式
公司名称：迅音科技（上海迅音科技有限公司）
电话：021-33885752
地址：上海市闵行区景谷路410号7幢
二、半导体设备专用超声波流量计系列
迅音科技针对半导体行业的生产特点与流体测量需求，推出了两款外夹式超声波流量传感器 / 流量计，均采用非侵入式设计，适配半导体生产中塑料硬管的流体输送场景，满足不同工序对流量测量的差异化需求，从核心技术到产品设计都贴合半导体行业的洁净度与精准度要求。
1.CPD 系列：外夹式高精度流量传感器/流量计
产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/2670459.html
- 产品定位：适用于塑料硬管的外夹式非侵入式流量测量，适配半导体行业对高纯流体精准计量的核心需求。
- 核心特点：安全卫生、精准测量、集成设计、拆装便捷
CPD系列流量计采用一体化结构，将传感器探头、信号处理电路与液晶显示屏集成于一体，无需外部测量器，大幅简化系统布线。其夹钳式安装方式无需切断管路或停机，可在现有产线上快速部署，特别适合对洁净度和连续生产要求高的场景。
- 技术参数：
• 流量范围：0–80 L/min
• 测量精度：±0.1% F.S.
• 输出方式：RS485、脉冲、4–20mA电流或两路开关量（可配置）
• 液体温度：0°C 至 90°C
• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU 等塑料硬管，外径 6–26 mm（内径 3–20 mm）
• 适用液体：纯水、药液、油、化学液、冷却液、胶水、研磨液等声学透明液体
- 产品优势：
• 非侵入式测量，不与液体直接接触，避免污染与泄漏风险
• 可双向测量，支持体积累计、气泡检测、定量灌装及流量开关功能
• 内置显示与处理单元，尺寸紧凑，响应时间 <1 秒
• 无活动部件、无死角设计，压力损失极小
• 支持按客户指定管材、尺寸、温度及液体类型进行定制标定
2.CS系列超声波流量传感器/流量计
产品详情：https://www.xy-tek.cn/productinfo/710972.html
- 产品定位：外夹式设计，适配多种材质塑料硬管，为半导体行业提供高适配、高稳定性的流量测量方案。
- 技术参数
• 流量范围：0-24 L/min
• 测量精度：± 2% RD
• 输出方式：提供RS485、脉冲、电流、电压及一路开关量输出
• 液体温度：0°C 至 90°C
• 适用管材：PFA、PTFE、PA、PU等塑料硬管或树脂硬管，外径6.4-25.4 mm（内径尺寸: 3.2-15.9 mm）
• 适用液体：水、化学液、冷却液、油、饮料等其他声学透明液体
- 产品特点：
• 高精度高稳定性
• 非侵入式测量，不与液体直接接触，卫生安全
• 可双向测量，计算流体体积，兼具气泡检测
• 电路集成在传感器/流量计内部，无需外部计算处理系统，尺寸紧凑
• 无堵塞无转向无死角，流体压力损失小
• 提供多种输出方式与客户系统无缝整合
• 可指定塑料硬管材料、尺寸、温度和液体类型进行定制标定
三、结语
迅音科技的 CPD 系列与 CS 系列超声波流量计，以非侵入式的设计和贴合半导体行业需求的技术参数，从根本上简化了半导体产线现场布线与设备安装流程，大幅降低了流量测量系统在半导体产线中的部署复杂度和实施成本。
两款产品凭借差异化的精度与适配性，为半导体生产的多种工艺提供了高适配的流量测量方案，将流量传感器采集的原始流量数据转化为半导体生产中具有参考价值的洞察，为实现流量数据的透明化呈现、精准的产线流体输送异常诊断与预测性维护提供了核心工具。
浙公网安备 33010602011771号