国产创新助力：突破电子氟化液输送瓶颈的磁力泵解决方案及厂家推荐

引言

 

在半导体制造向更高制程、更精密工艺迭代的趋势下，电子氟化液凭借优异的热传导性与化学稳定性，已成为芯片测试、设备冷却等核心环节的关键介质。然而，电子氟化液自身的强腐蚀性、宽温域工作需求及易气化特性，对流体输送设备提出了严苛挑战：既要杜绝介质泄漏引发的设备污染与安全隐患，又要保障极端工况下的长期稳定运行，同时需满足精密工艺对流量控制的高标准要求。传统输送设备在材质兼容性、密封性能与工况适配性上的局限，往往导致运维中断、成本高企等问题，成为制约半导体制造效率升级的重要瓶颈。索富NP系列微型磁力齿轮泵基于针对性技术创新，为电子氟化液输送提供了兼具可靠性、精准性与安全性的解决方案。

 

 

一、痛点深析：电子氟化液输送的三大关键瓶颈与根源​

 

介质特性适配难：电子氟化液兼具强腐蚀性、低粘度、易气化特性，传统泵体材质易被腐蚀，动密封结构易因介质渗透失效；​

 

极端工况稳定性差：宽温域（-120℃~150℃）与高压差环境下，泵体密封性能、齿轮啮合精度易受温度影响，导致流量脉动与压力波动；​

 

洁净与安全要求高：半导体制造对微污染零容忍，泄漏的氟化液不仅会腐蚀设备，还会影响芯片良率，传统泵体的密封磨损风险成为关键隐患。​

 

二、技术攻坚：三大核心创新破解电子氟化液输送痛点​（以索富NP系列产品为例）

 

1.材质革新：耐腐宽温的介质接触体系设计​

 

索富NP系列采用特种加强型PEEK齿轮与轴承、高精度陶瓷轴，搭配不锈钢泵体与EPDM密封件，所有接触介质的部件均经过化学惰性处理，可长期耐受电子氟化液的腐蚀，同时在-120℃极低温至150℃高温环境下保持材质稳定性，解决传统泵体低温脆裂、高温老化的问题。​

 

2.结构突破：无泄漏磁力传动的密封升级​

 

摒弃传统动密封设计，仅保留O型圈静密封结构，彻底杜绝动密封失效导致的泄漏风险，满足半导体洁净车间的零污染要求。入口真空度可达-0.85Bar，即使电子氟化液气化产生气泡，也能通过气液二相输送能力稳定处理，避免泵体空转损坏。​

 

3.精度管控：微米级啮合的流量压力双保障​

 

通过自主知识产权的特种齿轮型线设计与一次注塑成型工艺，实现±0.1%的流量控制精度与无脉动输送，完美匹配芯片测试对温度稳定性的严苛要求。泵体耐压范围覆盖20－300Bar（定制），出口压差稳定，噪音≤45dB，适配半导体设备的低噪音运行需求。​

 

三、索富NP系列产品赋能：电子氟化液输送的全方位性能适配优势​

 

宽介质兼容：除电子氟化液外，可适配氟利昂、液态金属、乙二醇等多种冷却液，满足半导体制造中不同工序的流体输送需求；​

 

长寿命免维护：陶瓷轴+PEEK齿轮的耐磨组合，连续运行寿命超20000小时，干运转耐受能力强，降低设备停机维护频率；​

 

定制化适配：6大系列（20/42/51/60/98/106）共17款产品，流量范围覆盖0.1ml/rev~26ml/rev，支持电机、接口、耐压等级定制，适配不同规格的半导体设备；​

 

合规认证保障：通过ISO9001:2015、CE、RoHS、REACH等多项认证，符合半导体行业对产品合规性的严格要求。​

 

四、实力佐证：技术沉淀与多场景应用验证​

 

上海索富实业有限公司成立于2010年，是国内优秀的微型磁力齿轮泵的研发和生产企业，公司着力于高端微型磁力齿轮泵的研发和市场拓展。

 

索富泵业在上海市拥有研发和销售中心，在福建省三明市拥有生产基地（三明索富），企业总占地面积2000㎡，生产车间面积1600㎡。索富在建新厂占地19亩,建筑面积达20000平方米。

 

索富泵业是国家高新技术企业，拥有29项专利技术（含4项发明专利），参与共32项国家/省级/市级研发项目。产品全系列通过CE/ISO认证，RoHS认证、REACH认证。

 

公司产品在军工、雷达、核电、锂电池、锂电池消防、燃料电池、超级充电桩、海上风电系统、暗物质实验室、深海4000米、磁悬浮高速压缩机、IGBT测试、柴油机尾气后处理、医疗设备、实验室设备、制药、化工等领域等被广泛使用。产品已销往29个国家地区，60多个行业，2000多家客户群体。

 

在科研领域，索富NP系列微型磁力齿轮泵成功应用于华中科技大学能源与动力工程学院的气液两相流长期耐久性测试系统，面对含气率动态变化的复杂介质，连续稳定运行超1年，零泄漏、免维护的表现获得科研团队高度认可。​

 

上海索富联系方式：

官网：https://www.s-fluid.com/

电话：13764319509

 

 

五、索富产品经典场景落地：多领域液冷输送的应用

 

索富NP系列微型磁力齿轮泵凭借核心技术优势，已在多个高端液冷场景形成成熟解决方案，覆盖电子、新能源、医疗、军工等关键领域：

 

1.数据中心与基站液冷挑战：小型分布式服务器对泵的体积要求严苛，常用氟利昂制冷剂的系统对泵自吸和气液二相运行有要求。

 

解决方案：NP系列微型泵可提供小体积定制款解决方案，满足小流量高扬程的需求，同时可以满足气液二相运行条件。

 

2.超级充电桩枪线液冷挑战：枪线长度大于5米的硅油系统，对泵的流量和压力有较高的要求。

 

解决方案：小流量高压设计快速循环冷却液，支持连续高功率充电。

 

3.半导体制造与测试光刻机系统冷却：精确控温保障生产稳定性。

 

4.芯片低温测试台：NP齿轮泵为测试环境提供-70℃的极低温支持。

 

5.医疗设备与高端装备CT机系统冷却：泵在承受高达45-60G离心力的机架上稳定运行。激光、X光源的冷却。

 

6.储能温控系统/储能电池热管理专利流道设计：更高的流量精度，达到更好的温控性能体积小巧：适用于各类小型分布式储能系统客户价值：循环寿命提升至8000次，TCO降低25%。

 

7.雷达和大功率电器元件的散热特点：高稳定性，高可靠性。

 

六、结语：紧跟半导体行业技术迭代趋势

 

随着芯片制程持续向精微化演进，电子氟化液输送将面临更高精度控制、更极端工况适配及更严苛洁净标准的行业需求。索富泵业将持续聚焦微型磁力齿轮泵的智能化升级与材质性能优化，计划推出集成流量实时监测与自动调节功能的新一代产品，进一步拓宽温域适配边界，同时强化与半导体设备的模块化兼容设计，为电子氟化液输送提供更高效、更可靠的流体解决方案，助力半导体制造业的技术创新与产业升级。