半导体物理和半导体器件学习总结3
这次开始整理内容最多的一部分,也是最重点的两部分之一,也就是pn结和双极型晶体管。另一个重点的部分是金半接触和mos管原理。。。
1、pn结的制作
合金法:突变结
扩散法:缓变结(高表面浓度的浅扩散结也可以看做突变结)
2、能带图和费米能级
形成pn结后能带会弯曲。
通过推导可以发现,费米能级是不随位置变化的,内建电场的形成造成了漂移运动,以抵消扩散。电势决定浓度,电势梯度即电场决定浓度梯度即扩散。
3、pn结的电流电压特性,即各种参数
①接触电势差:即弯曲的势垒高度,推导得出只与两边掺杂浓度有关。
②结定律:可以直接通过载流子浓度公式推出。
③外加电压时能带图的变化:这里是最不明白的一个点,为什么可以看做是电压降在了空间电荷区?在加电压之前两端有没有电势差?为什么加在空间电荷区就会减小空间电荷区长度?个人认为不能这么理解。。。要深入学习之后再来解决这个问题
④外加电压时的电流:
要记住n、p区各自的多子和少子表达式
然后对非平衡少子做扩散方程,得到随坐标衰减的浓度分布。最后得到肖克莱方程式
4、实验结果与计算结果不符合的原因
①势垒区产生和复合电流:比较繁琐,先略
②大注入情况:大注入会显著影响多子分布,使得初始条件为n=p,进而使得载流子浓度与V/2有关,解释了大电压下斜率的变化
5、pn结电容
分为势垒电容和扩散电容
都是可变电容,利用微分电容来表示
①势垒电容
利用泊松方程求出电势和电场,再求出势垒宽度(与外加电压有关),然后求出总电量,总电量对电压求微分,可以得到电容。
可以发现形式类似平行板电容(这里不太懂。。。再看)。
减小势垒电容的途径:降低低掺杂一侧的浓度,减小截面积。
以上推导一般适用于反向电压。
②扩散电容
对载流子在空间上积分,得到与e^V有关的电荷量,然后对V微分,得到电容。
大的正向偏压时,扩散电容起主要作用。
6、pn结击穿
雪崩击穿,隧道击穿,热电击穿
①雪崩击穿:反向电压很大时
②隧道击穿(齐纳击穿):浓度高,反向偏压不太大时
③热电击穿:反向偏压时的温度正反馈,禁带宽度比较小的半导体,反向饱和电流较大,易发生
7、隧道效应
略了,真不太懂。。。、
8、研究pn结时用到的近似
耗尽近似和中性区近似
9、大注入效应
大注入效应主要是修改了边界条件,即n=p,再利用np等于n0p0乘以e^V,得到载流子的边界条件。
然后考虑内建场,少子仍然有扩散运动,但多子也行成了一定的浓度梯度,所以会有一个电场来抑制多子的扩散。电场形成的原因就是左边少子比多子多,右边多子比少子多。
形成了令多子不流动的内建场。
然后利用多子电流为0,近似的电中性条件,得到少子的运动方程。由于电场抑制多子的扩散,于是它必定促进多子的扩散。这叫做韦伯斯托效应
促进扩散意味着增大扩散长度,电流增大更加平缓?(这里还没搞清楚)
10、pn结击穿
击穿好像挺复杂的,遇到再看
11、小信号特性
主要看一下推导过程。。。
以及这种方法推导出的扩散电容和半导体中的推导什什么不同。
12、开关特性
这里好像也没有考过,先记几个概念,详细推导再说。
首先是对脉冲电压的响应,会出现反向恢复过程,原因是少子电荷的耗尽需要时间。具体的计算先略了。。。
13、双极性晶体管的能带图和载流子分布
载流子的浓度遵循结定律,能带图也比较简单,不记了
14、放大系数
这里是比较难的地方
α:发射结正偏,集电结零偏
h1:发射结正偏,集电结反偏
β:发射结正偏,集电结零偏
h2:发射结正偏,集电结反偏
区别在于?
15、放大系数
放大系数=注入效率×基区输运系数
注入效率主要由两边浓度决定,也可以写成方块电阻的形式。
输运系数需要求解扩散方程,结果可以适当近似。
还引入了其他概念:电荷控制法、基区渡越时间 等等
16、放大系数的变化
小电流时,放大系数会减小,原因是势垒区负荷电流占发射极电流的比例增大。
大电流时,放大系数也会减小,原因是大注入效应和基区扩展效应。
17、发射区重掺杂的影响:
①发射区重掺杂效应:
发射区禁带变窄,导致本征载流子浓度变化,降低了注入效率
俄歇复合增强,寿命下降,导致扩散长度减小,集区注入发射区的电流增大,降低注入效率
②基区陷落效应:
产生原因是磷和硅半径不一致,导致更多的位错,产生更多空位。
此时基区的厚度会变得难以控制。
为了避免这一效应,发射区可以用砷As掺杂代替磷掺杂
18、异质结
前面说发射区禁带宽度变窄会导致注入效率下降,由此可知基区禁带宽度变窄则会导致注入效率上升。
由此可以利用异质结。具体略了。。。
19、双极结型晶体管的直流电流电压方程
这里书上提到了集电结短路相当于没有集电结,基区右边的边界条件是少子等于平衡少子浓度。还是不太懂。。。
但由于扩散方程是线性常系数方程,解有线性叠加性。
由此可以得到埃博斯-莫尔方程。
此外还有一个互易关系,虽然不知道怎么证明吧。
20、输出特性、反向截止电流和浮空电势
这里可以说是真正的难点。。。先略了,具体遇到再说
记住几个概念:
ICBO:代表发射极开路,集电结反偏时的集电极电流。
ICEO:代表基极开路,集电结反偏时的 从发射极到集电极的电流
具体的意义再补充
基区宽度调变效应:集电结反向电压增大导致基区宽度减小,增大了电流和放大系数。
避免此效应只能增大基区宽度,或者增大基区掺杂浓度。然而这些都和提高电流放大系数矛盾。
发射结开路意味着浮空电势的产生,此时的边界条件是边界少子等于0。而短路时边界条件是少子等于平衡少子。
21、基区穿通效应
即集电结反偏导致势垒区变宽,然后把基区挤没了。
但在实际中,横向晶体管容易发生,纵向晶体管不容易发生。
有时会有局部穿通。
基区穿通的影响是,电流会急剧增大。
22、基极电阻
这里需要了解一个方块电阻的概念。
以及工作基区的电阻要怎么求。
23、功率特性
①大注入效应
这里推导了任意注入下的电流,引入了葛谋数的概念
还推导了任意注入下的基区渡越时间和基区输运系数
以及任意注入下的发射结注入效率,电流放大倍数
②基区扩展效应
和基区宽度调变效应相区分。。。
原因是大电流导致的电场分布变化,具体就先略了。。。
③发射结电流集边效应
也叫基极电阻自偏压效应。。。详细推导就略了。。。
④热学性质
注意热击穿可能会有正反馈。。
⑤二次击穿
即击穿后的负阻现象
电流集中型:正反馈形成细丝电流。避免的方法是在梳状结构晶体管上加限流电阻
雪崩注入型:略、、、
⑥晶体管的安全工作区
集电极最大电流
最大耗散功率
正向二次击穿的临界功率线
反向二次击穿的临界功率线
发射极集电极击穿电压
24、频率特性&开关特性
略了先。。。遇到再看