摘要： 【附在每个笔记前面：个人学习记录，如有错误，烦请指正，不胜感激。】 一、组成：基片+膜层（基于行业局限性，暂时只看金属化薄膜基板，厚膜下次找机会再学习下） ① 基片材质： 氧化铝、氮化铝、碳化硅、金刚石 受制于成形工艺：即烧型、研磨型、抛光型在公差、表面粗糙度、平面翘曲度等方面会有一定的差异（以下数 阅读全文