摘要:
02 什么是SECS/GEM? 答:SECS/GEM是半导体行业用于设备(Equipment)与上层控制系统(Host)之间通信的标准协议和接口。 它由SEMI Equipment Communication Standard (SECS) 和 Generic Equipment Model (GE 阅读全文
posted @ 2024-01-24 15:51
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