2020年3月25日
MEMS-微机电系统
摘要： MEMS全称Micro Electromechanical System，微机电系统。是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器（执 行器）和微能源三大部分组成。微机电系统涉及物理学、半导体、光学、电子工程、化学、材料工程、机械 阅读全文
posted @ 2020-03-25 09:11 CNZHIQIANG 阅读(1026) 评论(0) 推荐(0)
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