2019年9月18日
什么是 double pattern？ 什么是 odd cycle？
摘要： 在 20nm 以下的工艺中，由于相邻 metal wire 的间距太小，使得光刻过程中，相邻的光线间距过小，相互之间发生干涉，导致 metal wire 边缘模糊，出现瑕疵。 为了解决这个问题，先进工艺开始采用 double pattern（DPT），也称为 double mask，就是将原来的一层 阅读全文
posted @ 2019-09-18 17:14 いつまでも 阅读(7302) 评论(0) 推荐(0) 编辑