2023年1月9日
2023.1.9 学习
摘要： 一、优势 相比传统的机械传感器，MEMS具有着巨大的竞争优势： 1.MEMS传感器具有着体积小、重量轻、功耗低的特点。 其内部结构可达微米甚至纳米量级。同时其内部的机械部件由于微型化后会具有惯性小、谐振频率高、响应时间短等优点。 2.MEMS可通过硅微加工工艺进行批量制造、封装、测试。 以单个5mm 阅读全文
posted @ 2023-01-09 09:41 南历史 阅读(32) 评论(0) 推荐(0)