电镀机的阳极是什么材质？ - 详解

知识星球（星球名：芯片制造与封测技术社区，点击加入）里的学员问：电镀的阳极有什么讲究？什么是可溶性阳极和非可溶性阳极？

可溶性阳极与非可溶性阳极？就是什么

可溶性阳极

阳极被电镀的金属材料就是本身就，在电镀过程中会发生氧化反应而溶解，为电解液持续补充金属离子。

电流依据后：

阴极（晶圆）发生金属离子还原 → 金属沉积

阳极发生金属氧化反应 → 金属原子进入电解液成为离子

不可溶性阳极

阳极采用不参与电化学反应的惰性材料，仅起导电作用。金属离子完全来自电镀液中预添加的金属盐。

工作原理

阴极：金属离子还原沉积

阳极：水或其他离子发生氧化（如放出氧气），阳极不溶解

阳极的材质有哪些？

可溶性阳极：

电镀类型	常用阳极材质
铜电镀	磷铜阳极（Cu-P） ，含0.04%~0.08%磷，可防止阳极泥生成，提高稳定性
镍电镀	电解镍板或球状镍 （高纯度Ni）
金电镀	金板或金丝 ，较少使用，成本高
锡电镀	锡条或Sn合金

不可溶性阳极：

材料常见选择	适用场景
铂涂层钛网（Pt/Ti）	贵金属电镀（如金、铑）
铱钽涂层钛（Ir-Ta/Ti）	稳定性高，适用于酸性镀液
石墨	镍、锌等电镀中有时也会采用，成本低
不锈钢	某些实验室电镀工艺或特殊研究用途

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