2025年11月26日
SHOT FLOORPLAN 中的定位mark 和test key 做法和注意事项
摘要： SHOT FLOORPLAN : VIS VIS 一个SHOT 是指单次光刻时所朴曝光的区域，一般FAB 会规定一个最大的极限面积要求，然后设计人员在此面积下进行DIE 的flooplan ,可以是单颗的DIE 进行重复，也会进行主片和副片的插花die 的形式，在验证和得片率之间进行取舍，如果是验证 阅读全文
posted @ 2025-11-26 12:17 小小桂花糕 阅读(42) 评论(0) 推荐(0)