摘要： DENSITY 要求 常见的density 要求在OD POLY 和金属层的layer 上，过高和过低的density都会直接影响产品的良率 例如： 金属密度过大，影响金属覆盖率。金属的覆盖比例Metal ratio：30%-55%之间为最佳（根据所用工艺而言），比例偏离的话，铝腐蚀就不好，不干净或 阅读全文