2021年7月13日
等离子体技术【七】--等离子体功率测量
摘要： 摘自：《等离子体放电原理与材料处理》Chapter 11.8.2 阅读全文
posted @ 2021-07-13 22:34 抱树的金鱼佬 阅读(815) 评论(0) 推荐(0)
等离子体技术【六】--双频/复频射频电源
摘要： 摘自：《等离子体放电原理与材料处理》 阅读全文
posted @ 2021-07-13 21:58 抱树的金鱼佬 阅读(959) 评论(0) 推荐(0)
等离子体技术【五】--电容耦合射频放电CCP
摘要： 摘自《等离子体放电原理与材料处理》1.3.1 摘自《等离子体蚀刻及其在大规模集成电路制造中的应用》2.3.1 阅读全文
posted @ 2021-07-13 21:47 抱树的金鱼佬 阅读(2957) 评论(0) 推荐(0)
等离子体技术【四】--鞘层
摘要： 摘自：《等离子体放电原理与材料处理》，Chapter 1 等离子体鞘层是指等离子体与器壁或电极接触时，在两者之间形成的过渡区。由于电子跑向器壁的速率比离子大得多，使绝缘器壁相对于等离子体具有负电位，有当到达绝缘器壁的电子流等于离子流时，达到准稳状态，这时器壁的电位约为粒子的动能的量级。 阅读全文
posted @ 2021-07-13 21:35 抱树的金鱼佬 阅读(4357) 评论(0) 推荐(0)