2023年10月16日
晶圆寻边器的一种快速数据计算方法
摘要： 晶圆寻边器采用线阵CCD传感器，吸盘带动晶圆转动一周，传感器采集到的数据为正弦波形。 数据采集数学模型 根据运动的相对性，CCD 传感器可以看成是反方向绕旋转中心运动。如下图所示，坐标系建立在旋转中心，初始时刻硅片圆心的位置在Q（a，b）处， 到旋转中心距离为d。 CCD传感器位于X轴上；在时刻t， 阅读全文
posted @ 2023-10-16 08:55 春雷芯 阅读(320) 评论(0) 推荐(0) 编辑