摘要： 近年来，随着高性价比激光设备的可用性不断提高，基于激光的微加工技术已发展成为“免工具”高精度制造技术不可或缺的工业工具，用于生产由几乎每种类型的材料制成的小型化设备。同时，激光切割和钻孔以及表面蚀刻已发展成为激光微加工应用中的成熟标准方法，在这种应用中，使用定义良好的激光束通过激光烧蚀去除材料。作为 阅读全文