2020年5月1日
SECS/GEM通信协议学习笔记
摘要： 了解下半导体设备现场的通讯协议，对于GEM的开发是半导体设备管理/生产/维护软件的一部分。 SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。 SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型 阅读全文
posted @ 2020-05-01 22:46 七星望 阅读(21410) 评论(3) 推荐(3)