摘要： Nanowire与nanosheet争议仍然存在，业界还没确定谁更适合作下一代主流逻辑器件。 对任何新器件，第一代都是用来学习试验的，后面再迭代升级。 FinFET不能继续缩微的原因：fin之间要填栅和功函数堆叠层，fin之间15-20nm的距离是必要的。“So, you have this cli 阅读全文