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2025年11月12日
基于HSMS通信标准的SECS通讯程序
摘要: HSMS(High-Speed SECS Message Services)通信标准的SECS通讯程序开发 结合SEMI E37标准核心规范 一、HSMS协议核心机制 1. 连接模式与状态机 模式 角色 关键流程 被动模式 设备端(服务端) 监听端口(默认5000)→ 接收TCP连接 → 处理Sel
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posted @ 2025-11-12 15:42 lingxingqi
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